实验室概况

管理机构


      运行机构


  主任孙立涛

 CMOS MEMS 研究室



常务副主任周再发

 MEMS CAD 研究室

副主任黄晓东

 RF MEMS 和 MEMS封装与可靠性研究室

朱真

 NEMS 研究室

尹奎波

 新兴 MEMS 研究室