黄庆安教授课题组在MEMS风速风向传感器研究领域取得重要进展

发布者:王振军发布时间:2021-01-16浏览次数:18

近期,东南大学MEMS教育部重点实验室黄庆安教授课题组在MEMS风速风向传感器研究方面取得重要进展,其研究成果以“Analysis and Compensation of Benchmark Drift of Micromachined Thermal Wind Sensor Caused by Packaging Asymmetry”为题在《IEEE Transactions on Industrial Electronics》(IF7.515,原文链接:https://ieeexplore.ieee.org/stamp/stamp.jsp?tp=&arnumber=9325075上在线发表。博士研究生王振军为第一作者,秦明教授与易真翔副教授为共同通讯作者。

课题组在实验中发现,封装过程中引入的非对称效应严重影响了芯片表面的温度场分布,引起传感器的基准点漂移,最终导致测量精度急剧下降。本文首次基于热电等效方法构建了流体--电转换模型,得到了基准点漂移的相关理论,并利用实验进行了验证。该工作可大幅减少校准工作量,从而降低成本,为MEMS风速风向传感器的产业化奠定基础。


MEMS教育部重点实验室自2000年开始研究风速风向传感器,迄今已在IEEE Internet of Things JournalIEEE Journal of Microelectromechanical Systems等国际期刊发表SCI论文40余篇,行业顶级会议IEEE MEMS 3篇,国家授权专利约40项,其成果于2019年获教育部技术发明一等奖。