传感器研究室
作者: 发布日期:2014-07-10

  



1.基于CMOS工艺设计制作的MEMS器件在MEMS领域占有举足轻重的地位。CMOS技术完备的基础设施和庞大的工业产能使任何此类器件天生便具有精度高、成本低、可靠性高和集成性好的优点。通CMOS技术完备的基础设施和庞大的工业产能使任何此类器件天生便具有精度高、成本低、可靠性高和集成性好的优点。

 


 



  

2.电容型湿度传感器,利用标准CMOS工艺制备,芯片表面涂覆感湿介质薄膜。外界环境湿度的变化会造成薄膜介电常数的变化,进而引起传感器电容值的改变。


   悬臂梁式感应结构传感器,是环境温度对敏感悬臂梁结构的形变造成的影响,进而改变悬臂梁式感应结构的传感器。环境温度对敏感悬臂梁结构的形变造成的影响进而改变敏感电容。传感器为电容式传感器检测结构,具有响应速度快、功耗低、检测范围宽等优点。


 

 

  



3. 热式风速风向传感器。通过检测外界环境空气与传感器芯片表面间的热对流造成的芯片表面的热损失和热梯度分布来感知外界风场的速度和方向

 


 










    



4.多层膜结构电容式气压传感器。外界环境气压变化会改变传感器芯片敏感薄膜的形变,系统通过检测由于薄膜形变造成的芯片电容值的变化来感知外界大气压力的变化。






研究室成员:黄庆安(负责人)、秦明、聂萌、韩磊、黄见秋、王立峰、刘星、易真翔。

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