硅基MEMS可制造性设计关键技术及其应用,2013
作者: 发布日期:2013-07-01

项目名称:硅基MEMS可制造性设计关键技术及其应用

授奖部门:教育部技术发明奖二等奖,2013

获奖人员:黄庆安、周再发、李伟华、聂萌等

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