多晶硅电热微执行器模型、制备与表征,2006
作者: 发布日期:2006-07-03

项目名称:多晶硅电热微执行器模型、制备与表征

授奖部门:教育部自然科学奖一等奖,2006

获奖人员:黄庆安、李伟华等

 

东南大学微电子机械系统教育部重点实验室 版权所有
地址:南京四牌楼二号南高院(东门)MEMS教育部重点实验室 电话:025-83794642-8840 E-mail:jiangmx@seu.edu.cn