Li-Feng Wang, Jie-Ying Tang and Qing-An Huang, Effect of Environmental Humidity on Dielectric Charging Effect in RF MEMS Capacitive Switches Based on C–V Properties, Journal of microelectromechanical systems, vol. 22(3), pp.637-645, 2013
作者:Li-Feng Wang, Jie-Ying Tang and Qing-An Huang 发表日期:2013-11-01

Li-Feng Wang, Jie-Ying Tang and Qing-An Huang,

Effect of Environmental Humidity on Dielectric Charging Effect in RF MEMS Capacitive Switches Based on C–V Properties,

Journal of microelectromechanical systems, vol. 22(3), pp.637-645, 2013, SCI

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