第六届亚太地区传感器与微纳米技术会议,2012.7.8
作者:于虹, 发布日期:2012-08-10




由中国东南大学、IEEE南京分会共同主办,东南大学MEMS教育部重点实验室、中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室联合承办的第六届亚太地区传感器与微纳米技术会议201278-11日在江苏南京金陵饭店举行。会议邀请了240名中外相关领域的专家学者到会发表专题演讲和研讨,其中外方代表约130人。会议收到论文351篇,其中110篇在会上进行了宣读。

本次会议由东南大学校长易红和中科院上海微系统与信息技术研究所副所长王跃林任共同主席。开幕式由东南大学MEMS教育部重点实验室主任黄庆安教授主持,东南大学王保平副校长致开幕词。

微机电系统(Microelectromechanical SystemsMEMS是在微电子技术基础上发展起来的一种多学科交叉的前沿技术,涉及力学、热学、电学、电子学等多个学科。从微型化和集成化的角度,MEMS可以理解为以微电子以及微机械加工技术为依托,可批量制作的、集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通讯和电源等于一体的微型器件或系统。20世纪60年代中期到20世纪80年代,是它的萌芽时期。在20世纪90年代,随着与CMOS电路更加兼容的MEMS表面机械加工技术的日益成熟,MEMS的研究进入了突飞猛进的阶段MEMS也逐渐了走向了商业化而近十几年来,研究人员又将MEMS应用的领域扩展到生物、医疗、信息、能源等方面。同时,MEMS发展又朝着尺寸更小的方向进行,形成了纳机电系统与器件(Nano-electromechanical SystemsNEMS。而NEMS在特征尺寸和性能上又具有纳米结构的特点,具有了许多MEMS所不具有的独特性能,使得它们在超灵敏质量探测、超小力传感、位移传感等方面具有极大的潜在应用。

MEMS是一个多学科交叉的技术,各学科专家学者间的交流是促进MEMSNEMS发展的必要条件第六届亚太地区传感器与微纳米技术会议为各学科学者间的学术交流提供了一个很好的平台。在本次会议中,于世界各国各地区的相关专家交流自己的最新研究成果,共同探讨MEMSNEMS发展方向。他们交流研究经验,共享技术成果,达到互利共赢。本次会议不仅为各国学者的学术交流提供了平台,而且更有利于宣传我国在MEMS领域的研究成果,促进我国在该领域的国际合作与交流,进而促进我国MEMS技术的发展。

本次会议共邀请了六名中外著名专家作大会特邀报告。他们分别是:中国科学院物理学研究所高鸿均院士、美国科学院院士现任香港中文大学教授C. P. Wang、美国 The University of Texas at Austin 教授R. Ruoff、日本京都大学教授O. Tabata、美国Case Western Reserve University教授M. Mehregany、荷兰Delft University of Technology教授P. M. Sarro这六位世界知名专家作的精彩报告,让与会者深受裨益。许多人认为,此次大会报告的水平之高,实属罕见。

在三个半天的分会场报告中,有九位亚太地区的领域专家分别就MEMS材料、制造与封装技术、光MEMS技术、生物微系统、能源与功率微系统以及纳米技术等方面作了精彩的分会场特邀报告。除此之外,来自中国、美国、日本、荷兰、新加坡、韩国、澳大利亚以及台湾等国家与地区的其他科学家还做了MEMS传感与纳米技术方面的最新研究进展报告。他们的学术报告主要涉及MEMS的设计、制造与封装技术以及MEMS技术在物理、化学、生物、医疗、通信等方面的应用,还涉及了纳米传感器与器件。共计两天半的会议中,与会代表围绕会议的十一个议题进行了充分的交流与研讨。很多最新的研究成果,使参加会议的学者,特别是使参加会议的东南大学师生对学科领域的最新研究状况有了进一步的认识。师生们的视野扩宽了,也学到了更多的研究手段和方法。

很多参会代表对这次会议给与了相当高的评价。很多专家说,此次会议不仅使他们认识了很多学术界的同行,还让他们了解了我国在MEMS研究领域的水平,也让他们记住了南京这个美丽的城市。此次会议的成功举办,不仅展示了我国科学家和研究人员在MEMSNEMS以及纳米技术领域所取得的丰硕研究成果,展现出我国在该领域研究人员的实力,同时以事实证明了我国举办高水平大型国际学术会议的能力,为我国今后申办高水平的国际学术会议奠定了坚实的基础。

 

 

简讯撰写人:于虹

MEMS教育部重点实验室

                                                                 2012.8.10


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