一种微电子机械系统的电容式气压传感器,聂萌、黄庆安,2015,专利号:ZL. 2013 1 0296888.3
作者:聂萌、黄庆安, 发表日期:2015 申请号:   专利号:ZL. 2013 1 0296888.3

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