一种在光刻胶刻蚀过程中表面演化模拟的哈希快速推进方法,周再发、施立立、黄庆安、李伟华、张恒,2014,专利号:ZL. 2012 1 0538668.2
作者:周再发、施立立、黄庆安、李伟华、张恒, 发表日期:2014 申请号:   专利号:ZL. 2012 1 0538668.2

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