一种微机械系统中微悬臂梁粘附力的测量结构及测量方法,唐洁影、蒋明霞,2014,专利号:ZL. 2012 1 0516342.X
作者:唐洁影、蒋明霞, 发表日期:2014 申请号:   专利号:ZL. 2012 1 0516342.X

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