微机械悬臂梁开关在线式微波功率检测器及制备方法,廖小平、刘合超、张志强,2014,专利号:ZL. 2011 1 0283705.5
作者:廖小平、刘合超、张志强, 发表日期:2014 申请号:   专利号:ZL. 2011 1 0283705.5

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