基于微机械硅基固支梁的相位检测器及检测方法,廖小平、华迪,2014,专利号:ZL. 2012 1 0204577.5
作者:廖小平、华迪, 发表日期:2014 申请号:   专利号:ZL. 2012 1 0204577.5

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