秦明,男,博士生导师
作者:秦明, 发布日期:2015-09-14

秦明  男  博士生导师

研究方向:MEMS传感器及其应用。MEMS热风速传感器体积小、灵敏度高、无可动部件,可以在工农业生产、水陆交通、国防和户外运动等领域有广泛的应用。

该研究方向专注于MEMS热风速/流量传感器的设计、制造、封装和应用系统研究。

项目及成果:

国家863项目参与课题“大型起重机械用微纳传感监控系统研制与工程示范”(2013AA041106)

专利:

   1. 一种高灵敏度二维风速风向传感器,申请(专利)号:CN201110031990.1;

   2. 电容式微机械风速风向传感器, 201310390353.2      

3. 一种固体摆锤式倾角传感器, 201310529668.0 

4. 一种球形风速风向传感器结构, 201310534156.3

   5. 一种基于应力检测的风速传感器, 201310189198.8

论文:

1. Zhou Lin, Qin Ming, Chen Shengqi, Chen Bei, Ceramic thermal wind sensor based on advanced direct chip attaching package

   Journal of Semiconductors, v 35, n 7, July 2014

   2. Zhu Yan-Qing, Han Lei, Qin Ming, Huang Qing-An, Novel DC-40 GHz MEMS series-shunt switch for high isolation and high power applications

   Sensors and Actuators, A: Physical, v 214, p 101-110, August 1, 2014

3. Chen Sheng Qi, Zhou Lin, Qin Ming, Silicon thermal flow sensor based on ceramic substrate

Key Engineering Materials, v 609-610, p 1060-1065, 2014

4. Chen Bei, Zhu Yan-Qing, Qin Ming, Huang Qing-An, Effects of ambient humidity on a

Micro-machined silicon thermal wind sensor

   Journal of Micro-electromechanical Systems, v 23, n 2, p 253-255, April 2014

5. Shan Yuanyuan, Qin Ming, Chen Shengqi, The design and experiment of a two-dimensional position sensitive detecting (PSD) sensor based on avalanche breakdown

   Key Engineering Materials, v 609-610, p 1094-1099, 2014

6. Du Hanyu, Qin Ming, Design and experiment of ultrasonic anemometer using TDC-GP2 time-to-digital converter

   Key Engineering Materials, v 609-610, p 1002-1007, 2014

对考研学生的基本要求:

具有电子/通讯/控制等专业基础,勤奋、认真,有兴趣从事MEMS传感器的设计理论/实践及应用研究或开发。

承担课程及本学年时间安排:

本科生专业课程“MEMS概论”,春季

硕士研究生专业课程“微纳制造技术”,春季

博士研究生专业课程“硅微纳制造技术”,秋季


近五年来培养的博士生:

序号

学号

 姓名

专业

博士论文题目

参与课题

 在读时间

1

131597

朱雁青

微电子学与固体电子学

低功耗MEMS热式风速传感器研究

国家863课题

2013/09-

2

099185

余辉洋

微电子学与固体电子学

 高性能MEMS压力传感器的研究

国家863课题

2009/02-2013.12

3

099184

蔡春华

微电子学与固体电子学

CMOS MEMS温度传感器的研究

国家863课题

2009/02-2013.12


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