微阵列绘图仪(15001605),黄见秋
作者: 发布日期:2015-09-02

微阵列绘图仪(GIX Desktop,Sonoplot)


仪器名:微阵列绘图仪 

仪器编号:15001605

存放地址:南高院一楼工艺间

管理责任人:黄见秋

联系方式:025-83792632-8825


用途:设备主要用于实现传感器芯片级敏感材料、纳米电极材料等精密淀积加工工艺或对单芯片样品实施小批量表面处理,微加工后处理工艺等。购置MEMS微阵列制作设备后将为微型传感器研制和结构、材料优化提供必要的设备支持,减少传感器的研制成本。


主要技术指标:

1.线宽:20微米

2.最小沉积体积:1.8pL

3.不规则度:10%

4.黏度:450cP

5.可写规格:点阵,线,圆弧,折线,三维结构

6.速度:大于15mm/s

7.XY轴定位精度:20微米

8.三轴高精度定位,移动范围为:38 x 29 x 5 cm

9.集成的光学反馈系统

10.集成了表面高度跟踪校准设备的压电陶瓷控制的释放器

11.高性能实时CCD监控系统

12.提供10um光阑高精度释放组件和10um玻璃微释放器以及20um光阑高精度释放组件和20um玻璃微释放器


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