低温真空探针台(14007566),周再发
作者: 发布日期:2015-09-02

低温真空探针台(PSF-10,美国Lake Shore公司)


仪器名: 低温真空探针台 
仪器编号: 14007566
存放地址: 南高院101室
管理责任人: 周再发
联系方式: 83792632-8817


用途: 半导体材料力学性能测试。

主要技术指标:

1. 力的最小分辨率    <1 nn< span="">

2. 位移的最小分辨率  <0.006 nm< span="">

3. 最小接触力   <70 nn< span="">

4. 最大载荷加载速率    >50 mN/sec

5. 横向载荷noise floor  3.5 μN

6. 横向载荷分辨率  <50 nn< span="">

7. XYZ 定位  误差在+/-10nm

8. 热漂移   <0.02nm/s


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