纳米压痕仪(14007565),周再发
作者: 发布日期:2015-09-02

TI-750 纳米压痕仪(美国Hysitron公司)


仪器名: 纳米压痕仪 
仪器编号: 14007565
存放地址: 南高院101室
管理责任人: 周再发
联系方式: 83792632-8817


用途:无损检测样品的电性能,用于半导体、微电子、固体物理、MEMS、纳米等研究领域,可以施加直流或交流信号,可以进行低温测量,控制温度并监测温度,是研究材料各种物理特性的有力工具。

主要技术指标:

1、芯片尺寸:2英寸直径;

2、变温范围:10K-675K

3、真空度:10-5torr

4、最大探针行程:125mm*51mm*16mm

5、信号范围:DC-67GHz

6、探针数:6个;

7、原位倾斜:±5º


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