微波探针台(13001783),韩磊
作者: 发布日期:2015-09-02


微波探针台(PM5,Cascade)


仪器名: 微波探针台 
仪器编号: 13001783
存放地址: 东南院103室
管理责任人: 韩磊
联系方式: 025-83792632-8823


功能:配合矢量网络分析仪,用于芯片上的有源和无源微波器件S参数的测量。

用途:微波探针台需要配合矢量网络分析仪对芯片上的微波电路和器件进行测量和表征,并能够提供直流偏置和输出信号的提取,主要用于片上微波有源电路、片上微波无源电路、片上天线和片上RF MEMS器件性能的表征。

主要技术指标:

1、工作频率:50GHz

2、芯片尺寸:6英寸直径;

3、托台平整度:<10um< span="">

4、分辨率:5um

5、移动范围:155mm*155mm

6、Z方向高度调整范围:10mm

7、微波探针数:4个;

8、直流探针数:4个。


东南大学微电子机械系统教育部重点实验室 版权所有
地址:南京四牌楼二号南高院(东门)MEMS教育部重点实验室 电话:025-83794642-8840 E-mail:jiangmx@seu.edu.cn