2016年教育部重点实验室年度报告
作者: 发布日期:2017-04-06

批准立项年份

2000/06/06

通过验收年份

2001/10/22

教育部重点实验室年度报告

20161——201612月)

实验室名称:MEMS教育部重点实验室

实验室主任:黄庆安

实验室联系人/联系电话:蒋明霞/025-83792632-8840

E-mail地址:jiangmx@seu.edu.cn

依托单位名称:东南大学

依托单位联系人/联系电话:张青/025-83792003

2017310日填报

填写说明

一、年度报告中各项指标只统计当年产生的数据,起止时间为11日至1231日。年度报告的表格行数可据实调整,不设附件,请做好相关成果支撑材料的存档工作。年度报告经依托高校考核通过后,于次年331日前在实验室网站公开。

二、研究水平与贡献栏中,各项统计数据均为本年度由实验室人员在本实验室完成的重大科研成果,以及通过国内外合作研究取得的重要成果。其中:

1.论文与专著栏中,成果署名须有实验室。专著指正式出版的学术著作,不包括译著、论文集等。未正式发表的论文、专著不得统计。

2.奖励栏中,取奖项排名最靠前的实验室人员,按照其排名计算系数。系数计算方式为:1/实验室最靠前人员排名。例如:在某奖项的获奖人员中,排名最靠前的实验室人员为第一完成人,则系数为1;若排名最靠前的为第二完成人,则系数为1/2=0.5。实验室在年度内获某项奖励多次的,系数累加计算。部委(省)级奖指部委(省)级对应国家科学技术奖相应系列奖。一个成果若获两级奖励,填报最高级者。未正式批准的奖励不统计。

3.承担任务研究经费指本年度内实验室实际到账的研究经费、运行补助费和设备更新费。

4.发明专利与成果转化栏中,某些行业批准的具有知识产权意义的国家级证书(如:新医药、新农药、新软件证书等)视同发明专利填报。国内外同内容专利不得重复统计。

5.标准与规范指参与制定国家标准、行业/地方标准的数量。

三、研究队伍建设栏中:

1.除特别说明统计年度数据外,均统计相关类型人员总数。固定人员指高等学校聘用的聘期2年以上的全职人员;流动人员指访问学者、博士后研究人员等。

2.“40岁以下是指截至当年年底,不超过40周岁。

3.科技人才国际学术机构任职栏,只统计固定人员

4.国际学术机构任职指在国际学术组织和学术刊物任职情况。

四、开放与运行管理栏中:

1.承办学术会议包括国际学术会议和国内学术会议。其中,国内学术会议是指由主管部门或全国性一级学会批准的学术会议。

2.国际合作项目包括实验室承担的自然科学基金委、科技部、外专局等部门主管的国际科技合作项目,参与的国际重大科技合作计划/工程(如:ITERCERN等)项目研究,以及双方单位之间正式签订协议书的国际合作项目。


一、简表

实验室名称

MEMS教育部重点实验室

研究方向

(据实增删)

研究方向1

CMOS MEMS(传感器)

研究方向2

MEMS CAD

研究方向3

RF MEMSMEMS封装与可靠性

研究方向4

NEMS

研究方向5

实验室

主任

姓名

黄庆安

研究方向

CMOS MEMS(传感器)

出生日期

1963.01

职称

教授

任职时间

1996.04

实验室

副主任

(据实增删)

姓名

孙立涛

研究方向

NEMS

出生日期

1976.10

职称

教授

任职时间

2008.03

实验室

副主任

(据实增删)

姓名

周再发

研究方向

MEMS CAD

出生日期

1978.11

职称

研究员

任职时间

2010

学术

委员会主任

姓名

尤政

研究方向

微米/纳米技术

出生日期

1963.12

职称

教授

任职时间

1994

研究水平与贡献

论文与专著

发表论文

SCI

85

EI

95

科技专著

国内出版

1

国外出版

奖励

国家自然科学奖

一等奖

项 

二等奖

项 

国家技术发明奖

一等奖

项 

二等奖

项 

国家科学技术进步奖

一等奖

项 

二等奖

项 

省、部级科技奖励

一等奖

1项 

二等奖

项 

项目到账

总经费

1108万元

纵向经费

1013万元

横向经费

95万元

发明专利与

成果转化

发明专利

申请数

81

授权数

73

成果转化

转化数

转化总经费

万元

标准与规范

国家标准

行业/地方标准

研究队伍建设

科技人才

实验室固定人员

41人 

实验室流动人员

5人 

院士

0人 

千人计划

长期0

短期0

长江学者

特聘2

讲座0

国家杰出青年基金

3

青年长江

国家优秀青年基金

1人 

青年千人计划

其他国家、省部级

人才计划

8人 

自然科学基金委创新群体

个 

科技部重点领域创新团队

国际学术

机构任职

(据实增删)

姓名

任职机构或组织

职务

黄庆安

IEEE

Fellow

尚金堂

IEEE ECTC

TPC

尚金堂

ICEPT

分会主席

尚金堂

IEEE

高级会员

黄庆安

英国《Journal of Micromechanics and Microengineering

编委

施智祥

Novel Superconducting Materials

顾问编辑

黄晓东

2016IEEE固态电路与器件学术会议

程序委员会成员

孙立涛

IEEE

会员

廖小平

IEEE

会员

秦明

IEEE

会员

于虹

IEEE

会员

王立峰

IEEE

会员

朱真

IEEE

会员

黄见秋

IEEE

会员

聂萌

IEEE

会员

黄晓东

IEEE

会员

张志强

IEEE

会员

雷双瑛

IEEE

会员

周再发

IEEE

会员

刘星

IEEE

会员

韩磊

IEEE

会员

访问学者

国内

国外

博士后

本年度进站博士后

1

本年度出站博士后

2

学科发展与人才培养

依托学科

(据实增删)

学科1

电子科学与技术

学科2

学科3

研究生培养

在读博士生

65

在读硕士生

113

承担本科课程

1845学时

承担研究生课程

1090学时

大专院校教材

开放与

运行管理

承办学术会议

国际

0

国内

(含港澳台)

0

年度新增国际合作项目

实验室面积

3800 M2

实验室网址

http://mems.seu.edu.cn/

主管部门年度经费投入

(直属高校不填)万元

依托单位年度经费投入

120万元


、研究水平与贡献

1、主要研究成果与贡献

       实验室重点开展微纳机电系统的前沿基础及关键技术研究,推进,解决微纳机电系统科技发展中的基础问题和技术难题,为国家经济及国防建设服务。重点瞄准:(1)新材料/新结构。由于纳米尺度材料或结构所呈现的奇特性质,微米纳米技术相互融合已成为趋势和发展前沿,因此,开展不同外场作用下(力、热、电、光、辐照等)纳米材料的性能、结构与应用探索研究,从原子尺度揭示材料性能与结构间的相关性;(2)微纳机电传感器。开展微纳机电系统器件的研究工作,重点研究风速风向传感器、气压传感器、温度传感器、湿度传感器、RF开关、移相器等;开展MEMS器件设计技术研究,重点研究加工工艺模型、模拟与算法,材料参数在线测试结构,器件的系统级建模,硅基NEMS结构的多尺度模型以及在生物医学、能源等领域中的应用研究;(3)微纳机电系统驱动与检测电路。开展传感器专用集成电路设计、微传感器信号检测与处理电路、多传感器集成系统和组件以及传感器网络节点方面的研究。

本年度发表SCI收录论文85篇,申请国家发明专利81项,授权国家发明专利  73项。实验室在MEMS路面传感器技术方面的研究成果获得了2016年获江苏省科技进步一等奖。

2、承担科研任务

       实验室本年度到账科研经费总计1164万元,其中973项目1项,经费117万元;国家自然科学基金杰出青年科学基金项目2项,经费195万元;国家自然科学基金优秀科学青年基金项目1项,经费40万元;国家科技支撑项目1项,经费91.5万元;国家863计划项目2项,经费64.95万元;国家自然科学基金重大科研仪器研制专项项目1项,经费100万元;国家自然科学基金、技装项目及其它省部级科研项目到款经费共499.55万元。

请选择本年度内主要重点任务填写以下信息:到款经费为本年度

序号

项目/课题名称

编号

负责人

起止时间

合同/到款经费(万元)

类别

1

表面界面过程微观机制及原位动态表征方

2015CB352106

黄庆安

2015.1-2019.12

550/117

973

2

高端MEMS器件可制造性设计技术及应用

2015AA042604

周再发

2015.1-2017.12

148/37.5

863

3

微纳系统三维异质集成化技术

2015AA042602

王立峰

2015.1-2017.12

109.35/27.45

863

4

高铁机车用振动、压力微纳传感器设计与制造

2015BAF16B01

聂萌

2015.1-2017.12

151.75/91.5

国家科技支撑项目

5

XXXX

XXXX

廖小平

2015.1-2017.12

200/0

技装

6

XXXX

XXXX

王磊

2015.1-2017.12

200/0

技装

7

XXXX

XXXX

尚金堂

2014.1-2016.12

200/0

技装

8

无线、集成化无源传感器技术基础研究

61136006

黄庆安

2012.1-2016.12

290/0

国家自然科学基金(重点)

9

针对若干国家战略需求材料使役条件下性能与显微结构间关系的原位研究系统

113279028

孙立涛

2014.1-2018.12

600/100

国家自然科学基金(设备专项)

10

国家自然科学基金杰出青年科学基金项目、纳米材料的表面结构调控及其动态过程的显微学研究

11525415

孙立涛

2016.1-2020.12

400/10

国家杰出青年基金

11

低维材料理论化学

21525311

王金兰

2016.1-2020.12

400/185

国家杰出青年基金

12

液态环境下石墨烯表/界面结构演变的原子分辨动态表征

E020603

孙立涛

2015.1-2019.12

240/0

国家自然科学基金委(国际合作项目)

13

二维层状材料的光学与光电性能

61422503

倪振华

2015.1-2017.12

100/40

国家自然科学基金(优青)

14

用于第三代基因测序系统的石墨烯纳通道跨尺度集成制造原理及方法研究

61274114

孙立涛

2013.1-2016.12

91/0

国家自然科学基金(面上)

15

面向医学单分子诊断的卷曲复合贵金属微纳米管研究

51271057

邱腾

2013.1-2016.12

80/0

国家自然科学基金(面上)

16

皮米分辨下石墨烯基锂离子电池电极微结构演化的原位动态表征与嵌/脱锂机制研究

51372039

徐峰

2014.1-2017.12

80/16

国家自然科学基金(面上)

17

金属-碳纳米管接触的原位构建及原子分辨界面微结构与电学特性研究

61370042

万能

2014.1-2017.12

80/0

国家自然科学基金(面上)

18

基于原位环境透射电子显微学的石墨烯传感器表面界面过程微观机制研究

61574034

徐峰

2016.1-2019.12

76/3

国家自然科学基金(面上)

19

超宽量程CMOS MEMS气压传感器基础研究

61474023

聂萌

2015.1-2018.12

76/22.8

国家自然科学基金(面上)

20

20nm以下金属、金属合金的结构、力学行为及性能调制

51571060

贺龙兵

2016.1-2019.12

73.6/2.9

国家自然科学基金(面上)

21

过渡金属二硫族类石墨烯二维材料电子结构与光学性质的

21373045

王金兰

2014.1-2017.12

80/16

国家自然科学基金(面上)

22

等离激元特异介质中的磁涡旋偶极矩及其光学相关特性

董正高

2014.1-2017.12

89/17.8

国家自然科学基金(面上)

23

石墨烯与半导体纳米结构的耦合及光电性能研究

61376104

倪振华

2014.1-2017.12

80/16

国家自然科学基金(面上)

24

自聚焦超声玻璃微流控器件的发泡法制备及应用基础研究

51275091

尚金堂

2013.1-2016.12

80/16

国家自然科学基金(面上)

25

层状铁硫族超导体强磁场下电输运特性及相关机理的研究

U1432135

施智祥

2015.1-2017.12

66/33

国家自然科学基金(面上)

注:请依次以国家重大科技专项、“973”计划(973)、“863”计划(863)、国家自然科学基金(面上、重点和重大、创新研究群体计划、杰出青年基金、重大科研计划)、国家科技(攻关)、国防重大、国际合作、省部重大科技计划、重大横向合作等为序填写,并在类别栏中注明。只统计项目/课题负责人是实验室人员的任务信息。只填写所牵头负责的项目或课题。若该项目或课题为某项目的子课题或子任务,请在名称后加*号标注。

三、研究队伍建设

1、各研究方向及研究队伍

研究方向

学术带头人

主要骨干

1、CMOS MEMS(传感器)

黄庆安

秦明、聂萌、黄见秋、王立峰、易真翔

2、MEMS CAD

周再发

李伟华、黄晓东

3、RF MEMS和MEMS封装与可靠性

尚金堂

唐洁影、廖小平、张志强

4、NEMS

孙立涛

徐峰、万能、尹奎波、贺龙兵、谢骁

2.本年度固定人员情况

序号

姓名

类型

性别

学位

职称

年龄

在实验室工作年限

1

黄庆安

研究人员

博士

教授

53

长期

2

李伟华

研究人员

硕士

教授

60

长期

3

唐洁影

研究人员

硕士

教授

59

长期

4

施智祥

研究人员

博士

教授

51

长期

5

廖小平

研究人员

博士

教授

50

长期

6

于  虹

研究人员

博士

教授

50

长期

7

秦  明

研究人员

博士

教授

49

长期

8

王金兰

研究人员

博士

教授

44

长期

9

徐庆宇

研究人员

博士

教授

43

长期

10

孙立涛

研究人员

博士

教授

40

长期

11

尚金堂

研究人员

博士

教授

39

长期

12

董正高

研究人员

博士

教授

37

长期

13

邱  腾

研究人员

博士

教授

37

长期

14

倪振华

研究人员

博士

教授

34

长期

15

周再发

研究人员

博士

研究员

38

长期

16

张中平

技术人员

副研究员

60

长期

17

殷刚毅

技术人员

副研究员

58

长期

18

沈克强

研究人员

博士

副教授

56

长期

19

雷双瑛

研究人员

博士

副教授

40

长期

20

徐 峰

研究人员

博士

副研究员

39

长期

21

陈  洁

研究人员

博士

副教授

38

长期

22

聂  萌

研究人员

博士

副教授

36

长期

23

万  能

研究人员

博士

副教授

36

长期

24

韩  磊

研究人员

博士

副教授

34

长期

25

黄晓东

研究人员

博士

副教授

34

长期

26

尹奎波

研究人员

博士

副研究员

36

长期

27

黄见秋

研究人员

博士

副研究员

35

长期

28

王 磊

研究人员

博士

副研究员

34

长期

29

李  霁

研究人员

博士

副研究员

32

长期

30

宋  竞

研究人员

博士

讲师

35

长期

31

谢 骁

研究人员

博士

讲师

35

长期

32

王立峰

研究人员

博士

讲师

35

长期

33

刘 星

研究人员

博士

讲师

34

长期

34

贺龙兵

研究人员

博士

讲师

34

长期

35

张志强

研究人员

博士

讲师

33

长期

36

朱 真

研究人员

博士

讲师

32

长期

37

易真翔

研究人员

博士

讲师

30

长期

38

徐  涛

研究人员

博士

讲师

30

长期

39

蒋明霞

管理人员

学士

高工

53

长期

40

刘晓彦

管理人员

54

长期

41

唐  群

管理人员

49

长期

注:(1)固定人员包括研究人员、技术人员、管理人员三种类型,应为所在高等学校聘用的聘期2年以上的全职人员。(2在实验室工作年限栏中填写实验室工作的聘期。

 

3、本年度流动人员情况

序号

姓名

类型

性别

年龄

职称

国别

工作单位

在实验室工作期限

1

苏 适

博后

31

中国

2014.06-2016.06

2

朱 超

博后

29

中国

2014.09-2016.09

3

仇 实

博后

27

中国

2015.06-2017.06

4

戴 伟

博后

30

中国

2016.07-2018.07

5

C.P.WONG

其他

70

美国

1个月

注:(1)流动人员包括博士后研究人员、访问学者、其他三种类型,请按照以上三种类型进行人员排序。(2实验室工作期限在实验室工作的协议起止时间。

 

四、学科发展与人才培养

1、学科发展

实验室依托东南大学电子科学与工程学院“电子科学与技术”国家一级重点学科、物理系“凝聚态物理”二级学科。通过开展微纳机电系统相关的科学研究,促进了电子科学与技术学科在微流控、物联网等的交叉学科领域的发展,在电子学院的本科专业增设了物联网专业。

微纳机电系统是新兴交叉学科,实验室开展了从电子信息材料、微纳传感器设计、测试和封装、信号处理电路设计、可靠性等多个层次的研究,各学科方向互为依托、相互支持,紧贴国家和江苏省中长期科技发展要求和经济建设需求,对国家和地方科技发展、经济发展、国防建设和人才培养有重要意义,也对电子科学与技术的发展提供了重要的支撑作用。物理系“凝聚态物理”二级学科注重基础研究,通过与微纳机电系统研究交叉,可以促进基础研究成果转变为工程应用,可以为物理系“凝聚态物理”二级学科的发展和建设注入新的活力,有利地推动其发展步伐和支撑力量。

2、科教融合推动教学发展

实验室始终把师资队伍建设作为提高办学水平的关键来抓,强化业务培训,优化知识结构,提高整体素质,不断增强教师队伍的凝聚力和创造力,推进办学水平上台阶。推进素质教育,提高教育质量,教师业务素质是基础。依靠继续教育工程,多层次、多渠道培训,不断提高全体教师的教书育人能力。根据教师学习要求,提出了具体目标,制定了实施方案,鼓励教师参加学习。开展岗位培训。采用内引外联的形式,创造条件,为教师争取学习机会。实验室教师承担着《电子器件(双语)》、《固体物理学》、《半导体物理学》、《数字电路设计》、《模拟电路设计》、《微电子机械系统》、《微系统设计》、《微机电系统导论》、《微纳电子材料》等共39门研究生、本科生课程,在教学过程中实验室注意引导教师及时将主持和参加的科研项目的最新成果融入到课堂教学,使学生在掌握课程基础知识的基础上,了解学科的前沿知识,培养和发掘学生的科研兴趣,引导具有科研兴趣的学生进入相关课题组,接收科研训练。

在学校2016年授课竞赛中实验室有1位老师获二等奖,1位老师获三等奖, 2位老师获提名奖。实验室本科毕业设计36位同学顺利通过毕设答辩,其中两位同学获得校优秀毕业设计论文。MEMS实验室16年度获得一项教育部教改项目。两位MEMS实验室老师指导的项目分别获得第七届“北斗杯”全国青少年科技创新大赛江苏赛区(国家级)三等奖和东南大学第九届嵌入式系统设计邀请赛一等奖(校级);16年度MEMS实验室8位老师参与指导共计21SRTP项目。

3、人才培养

1)人才培养总体情况

东南大学和法国雷恩大学的联合培养硕士学位,中法雷恩1+1;

董辉博士生在澳大利亚昆士兰科技大学联合培养;

夏委委博士生美国Brookhaven国家实验室联合培养2016.10-2018.4

朱重阳博士生韩国基础科学研究院联合培养2016.11-2017.11

李晓倩博士在美国伯克利大学机械工程系Prof. Liwei Lin联合培养;

韩磊(美国波士顿大学);谢骁、贺龙兵(澳大利亚Monash大学);陈洁(休斯顿大学)等老师在国外著名机构开展访问交流;

与江苏英特神斯科技有限公司联合成立企业研究生工作站,共同培养研究生

2)研究生代表性成果(列举不超过3项)

.孙俊博士荣获第十届中国青少年科技创新奖以及第十一届中国大学生年度人物提名奖。

.徐涛博士获郭可信优秀学生奖(K. H. Kuo Award for Outstanding Student

.任青颖博士参加CSMNT2016获中国微米纳米技术学会年会优秀论文奖

3)研究生参加国际会议情况(列举5项以内)

 

序号

参加会议形式

学生姓名

硕士/博士

参加会议名称及会议主办方

导师

1

口头报告

甘琦、吴蕾、罗斌

硕士生

IEEE ECTC,美国拉斯维加斯

尚金堂

2

口头报告

李杰

博士生

2016 Progress in Electromagnetic Research Symposium (PIERS),上海

董正高

3

口头报告

吴章婷

博士生

8th international conference on recent progress in graphene/2D research

倪振华

4

口头报告

顾一帆

硕士生

APCOT 2016,日本

周再发

注:请依次以参加会议形式为大会发言、口头报告、发表会议论文、其他为序分别填报。所有研究生的导师必须是实验室固定研究人员。

 

五、开放交流与运行管理

1、开放交流

1)开放课题设置情况

 

本年度共设开放课题4个,其中1个为校内人员。3 个为校外人员。

序号

课题名称

经费额度

承担人

职称

承担人单位

课题起止时间

1

表面修饰石墨烯的物性研究

4万

施智祥

教授

东南大学

2017.01-2018.12

2

拓扑绝缘体/磁性氧化物异质结界面的动态表征

4万

吴幸

研究员

华东师范大学

2017.01-2018.12

3

基于FBRA的无源温度传感器研究

4万

华迪

讲师

河海大学常州校区

2017.01-2018.12

基于硬脆材料超声辅助微磨削的加工参数研究

4万

李辉

讲师

河北工业大学

2017.01-2018.12

注:职称一栏,请在职人员填写职称,学生填写博士/硕士。

2)主办或承办大型学术会议情况

序号

会议名称

主办单位名称

会议主席

召开时间

参加人数

类别

注:请按全球性、地区性、双边性、全国性等类别排序,并在类别栏中注明。

3)国内外学术交流与合作情况

国内交流情况

黄庆安教授2016726-29日在吉林参加第10届中国半导体行业协会半导体分立器件分会年会,并做大会报告;2016920日在杭州参加新一代信息技术产业标准化论坛,并做邀请报告;2016122日在北京亦庄参加全球传感器与智能化发展高峰论坛,并做邀请报告。

孙立涛教授2016年在国内做邀请报告10次,大学、研究所邀请报告7次(北京大学、南京大学2次、中国石油大学、广西大学、中科院金属研究所、中科院生物能源与过程所)。

施智祥教授参加2016年全国低温物理学年会,并做邀请报告。

徐庆宇教授2016年参加了第四届磁性材料青年学者学术研讨会和61st Annual Conference onMagnetism and Magnetic Materials

倪振华教授2016.7.18-20在上海参加8th International Conference on Information Optics and Photonics (CIOP2016),并做邀请报告;2016.10.21-10.23在南昌参加第六届碳纳米材料及器件研讨会并作了石墨烯传感器的邀请报告;2016.11.6-11.9参加第八届全国光学青年学术论坛暨西湖国际光电子会议并做邀请报告;2016.11.14-11.15在北京纳米中心参加“第二届新型二维材料青年科学家论坛并做了题为“二维材料的缺陷表征与调控”的邀请报告。

黄晓东副教授参加纳米能源与纳米系统国际学术会议(北京,2016.07),参加IEEE固态电路与器件学术(香港举办,2016.08)学术会议。

朱真老师在北京参加Optofluidics 2016国际会议,并做邀请报告。

尚金堂教授20166月参加南通半导体封测市场年会;201612月参加太原量子研讨会;20168月参加长沙ICEPT会议;20161月在上海参加IEEE MEMS 2016

2名硕士生参加2016中国微米纳米技术学会年会。

国际交流情况

黄庆安、廖小平、周再发、王立峰、易真翔老师赴日本参加APCOT2016国际会议。

黄庆安、廖小平在美国参加IEEE Sensor2016年会。

施智祥教授2016年访问美国俄亥俄州立大学,一个月;访问日本东京大学,一周。

倪振华教授2016.12.11-14在新加坡参加9th Singapore International Chemical Conference (SICC-9),并做邀请报告;2016.7.3-7.7在韩国参加18th International Symposium on Physics of Semiconductors and Applications (ISPSA2016),并做邀请报告。

孙立涛教授于2016413日至417日、1114日至1118日受美国FEI公司邀请,赴荷兰埃因霍温参加“材料科学研究的未来发展方向研讨会(春季、秋季)”,并作大会报告;2016523-27在泰国参加APMC11 / MST33 / AAT39会议 ,并作并做邀请报告;1127-122日在美国波斯顿参加2016 MRS FALL MEETING &EXHIBIT,并做邀请报告

  尚金堂教授20165月,英国,剑桥大学、牛津大学、曼彻斯特大学交流,访问学者。

朱真老师在日本金泽参加APCOT 2016国际会议,并做主题报告;在韩国仁川参加第八届自然科学国际研讨会,并做邀请报告。

  4名硕士生和7名博士生参加在美国和日本的国际会议。

2016年教师出国进修情况:谢骁、贺龙兵赴澳大利亚Monash大学访问学者一年;韩磊,2016.8~2017. 7,美国波士顿大学做访问学者。陈洁,2015.72016. 7University of Houston(休斯顿大学)

4)科学传播

实验室通过参加科南京电视台科技节目、一些科技展览、中小学的科创活动宣传实验室的最新研究成果,并加强微纳机电系统科学知识的传播。

11-12月,孙立涛教授团队经过四年多的研发,实现了石墨烯材料在防霾口罩上的产业化应用并走向市场,目前在各大电商平台上已有销售。石墨烯基防霾口罩解决了长期以来基于静电吸附法的防霾口罩在使用过程中防霾率大幅下降的问题,其对空气中微粒的过滤、吸附效果优于目前市场上广泛销售和使用的N95型等口罩。石墨烯基防霾口罩产生了良好社会效益,提高了东南大学知名度。

2、运行管理

1)学术委员会成员

序号

姓名

性别

职称

年龄

所在单位

是否外籍

1

尤政

教授

53

清华大学

2

王跃林

研究员

57

中科院上海微系统与信息技术研究所

3

刘晓为

教授

61

哈尔滨工业大学

4

张兴

教授

51

北京大学

5

张文栋

教授

54

中北大学

6

陈迪

教授

55

上海交通大学

7

邓中亮

教授

51

北京邮电大学

8

夏善红

研究员

58

中科院电子学研究所

9

温志渝

教授

64

重庆大学

10

黄庆安

教授

53

东南大学

11

孙立涛

教授

40

东南大学

2)学术委员会工作情况

学术委员会于2016年4月2日上午9:00-12:00在东南大学四牌楼校区南高院MEMS实验室四楼会议室召开,出席人员9人,缺席人员2人。

学术委员会会议纪要如下:

东南大学MEMS教育部重点实验室于2016年4月2日在南京召开了第二届学术委员会会议。学术委员会全体委员、实验室骨干教师参加了会议。东南大学相关领导出席会议。

       与会委员听取了实验室主任的工作汇报和三个学术报告。学术委员会认为,近年来实验室凝练了研究方向,加大了人才引进力度,取得了一批研究成果,并形成了四个主要研究方向:

1.       CMOS MEMS(传感器)

以设计、制造、封装与可靠性等共性技术研究为基础,以气象传感器与系统为典型代表,系统深入开展了CMOS MEMS设计、开发及应用研究,并实现产品应用推广。

2.       MEMS CAD

针对MEMS设计方法和MEMS工艺线的需求,开展了硅基MEMS加工工艺模型与模拟、系统级设计方法、在线测试结构设计研究。

3.       RF MEMS和MEMS封装与可靠性

面向MEMS在国防领域的应用,开展了RF开关、微波功率传感器、磁场传感器等器件可靠性、封装等研究。

4.       NEMS

以微纳结合,创新发展目标,开展了NEMS材料力学、电学等特性的原位在线表征方法研究,以及NEMS尺度效应的理论研究。

实验室研究方向明确,重点突出;吸引和稳定高水平人才的措施得力;具备培养高水平人才能力和承担较大科研项目的能力;在学术交流和平台建设方面也取得了明显成绩。实验室通过与相关企业合作,在推进高新技术产业化方面取得较大进展。

实验室目前固定人员已经达到41人。实验室通过引进和自身培养,现有国家杰出青年科学基金获得者3人、优秀青年科学基金获得者1人,教育部长江学者1人、新世纪优秀人才9人,已经形成年富力强的研究团队。实验室建设得到东南大学的大力支持,特别在985工程“微纳制造与表征”创新平台建设计划的支持下,购置了一批高端核心仪器设备,有力地支持了实验室创新发展。承担了国家973计划、863计划、国家自然科学基金重点基金等科研项目60项,2015年度到账科研总经费2009.4万元。实验室主任黄庆安教授当选为IEEE Fellow。

       根据MEMS发展趋势和实验室目前状况,学术委员会建议:

1.       注意科研成果的系统总结与凝练,加强成果推广应用,争取获得国家科技奖励。

       2016年3月通讯评议,确定2017年开放课题人选4人。

3)主管部门和依托单位支持情况

       依托单位年度经费投入120万元以上。东南大学积极支持实验室将借助先进的硬件设施和优良的研究环境以及东南大学引进人才政策,加大力度引进国内外优秀人才,扩大研究队伍,建成多学科交叉的高水平研究团队。除利用中共中央组织部“千人计划”、教育部“长江学者奖励计划”、江苏省“双创计划”计划外,东南大学提供了东南大学“特聘教授”、东南大学“青年特聘教授”等优惠政策,从科研启动基金、配置研究团队、生活保障和家属安排等多方面支持实验室吸引国内外知名高校的高水平人才,保障高水平人才的根本利益、提供优越的工作平台,积极推动科研事业的蓬勃发展。

       同时,东南大学提供了“大型仪器设备维修基金”等支持措施,解决实验室大型设备的日常维护问题,目前实验室用房面积超过3800平方米,固定资产超过6950.00万元,微纳制造与表征科研基础设施达到国际水平。

3、仪器设备

1.透射式电子显微镜两台,年有效工作机时各约3000小时,对外共享各约500小时;

2.纳米单体原位测量系统年有效工作机时约为1000小时,对外共享约300小时;

3.微波探针台年有效工作机时约550小时

4.频谱分析仪年有效工作机时约700小时

5.矢量网络分析仪年有效工作机时约500小时

6.半导体特性分析仪年有效工作机时约800小时

7.光谱椭偏仪年有效工作机时约400小时

8.高精度微纳米打印系统(2016.12购买)

9.共聚焦活细胞工作站(2016.12购买)

六、审核意见

1、实验室负责人意见

实验室承诺所填内容属实,数据准确可靠。

数据审核人:

实验室主任:

(单位公章)

年月日

2、依托高校意见

依托单位年度考核意见:

该实验室本年度承担973863、技装项目、国家自然基金和省部级项目40多项,科研经费到款1108万元,新增长江特聘教授1个,发表SCI收录论文85篇,EI收录95篇,获发明授权专利73项,申请发明专利81项。承担本科课程1845学时,承担研究生课程1090学时,培养博士生65人,硕士生113人,毕业博士研究生8名,毕业硕士研究生39名。设立开放课题4项,实验室在日常运行与管理中具有一套完整的规章制度并严格执行,顺利通过年度考核,东南大学将继续保持在人、财、物、政策等方面对实验室的支持。

依托单位负责人签字:

(单位公章)

年月日

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