2014年实验室年度报告
作者: 发布日期:2015-08-18

实验室(中心)

所属学科

工程科学

实验室(中心)

性质

基础研究

应用基础研究

应用

开发

教育部重点实验室

工作年报

实验室名称:微电子机械系统(MEMS)教育部重点实验室  

学科(领域): 微电子学与固体电子学(工程领域)

依托单位:    东南大学           

联系电话   02583792632-8840    

传    真:   02583792939     

网    址:    http://mems.seu.edu.cn

Email地址jiangmx@seu.edu.cn     

2015125日 填报


实验室名称:微电子机械系统教育部重点实验室

Key Laboratory of Micro-Electro-Mechanical-Systems of Ministry of Education of China

学科分类:(一级学科)电子科学与技术

          (二级学科)微电子学与固体电子学

挂靠单位:东南大学

二. 实验室工作纪要

简介2014年完成国家863项目1项计344.5万元,国家自然基金项目3项计80万元,其它项目5项计223.6万元;在研项目52项计6552.5万元。2014年论文被SCI收录57篇。2014年批准39项发明专利,5项实用新型专利。新申请77项发明专利,5项实用新型专利。本年度博士留校1人,国外引进人才2人。毕业博士5名,硕士27名,工程硕士3名。2014年度参加国际会议37人次;2014年“985工程”三期省配套140万元购设备。2014年省优势学科拨款34万元,2014年学校投入实验室管理和运行经费40万元(其中用于开放课题12万元)。

2.1 科研项目与经费

2014年完成项目9项计648.1万元;2014年在研项目52项计6552.5万元

2014年完成项目一览表

序号

项目名称

来源与批准号

批准

部门

经费

万元

负责人

执行年

1

In-situ observation of microstructure evolution in selected automotive materials under externally applied mechanical load and electric pulse

General Motors China Science Lab

General Motors (China) Investment Company Limited 

General Motors China Science Lab

Total amount – RMB 60.6 (USD 95k)

孙立涛

2012-2014

2

水陆交通安全传感器及系统

863重大项目

2011AA040404

科技部

344.5

韩  磊

黄庆安

2011-2014

3

基于RF MEMS开关的可重构微波均衡器设计理论与实现方法的研究

国家自然基金

(青年科学基金项目)

(61106114)

基金委

25

韩磊

2012-2014

4

基于原位电子显微学的太阳电池电极结构研究及其光电性质动态表征

国家自然基金

(青年科学基金项目)

(61106055)

基金委

25

徐峰

2012-2014

5

石墨烯中缺陷的拉曼光谱研究

国家自然科学基金11104026

基金委

30

倪振华

2012-2014

6

材料塑性成型的微观变形机理与方法研究

教育部科学研究重大项目(311019)

教育部

100

孙立涛

2012.01-2014.12

7

单层石墨烯的制备及性能表征

教育部新世纪优秀人才NCET-11-0094

教育部

50

倪振华

2012-2014

8

基于石墨烯中缺陷和应力的拉曼光谱研究

江苏省自然科学基金BK2011585

江苏省科技厅

10

倪振华

2012-2014

9

路面状况检测器检测技术及检测方法研究

交通运输部标准计量质量研究项目,2012-318-223-100

交通运输部

3

韩磊

2012.3-2014.2

在研课题及2014年在研课题一览表(不含当年结题项目)

序号

项目名称

来源与批准号

批准

部门

经费

万元

负责人

执行年

1

高密度三维系统级封装的关键技术研究子课题

国家重大科技专项(2009ZX02038)来源子课题

科技部

328

尚金堂

2009-

2

基于皮米分辨透射电镜的5纳米以下三维纳通道跨尺度集成制造及力学性能表征

国家973项目(2011CB707600)

科技部

192

孙立涛

2011-2015

3

新型铁基超导材料实用化和钇钡铜氧涂层导体厚化过程中基础科学问题

973项目子课题

(2011CBA00105)

科技部

85

施智祥

2011-2015

4

CMOS MEMS PCM与CMOS MEMS

国家级重大专项

科技部

1500

黄庆安

周再发

2011-

5

应用于探空仪的MEMS温度、湿度和气压系列传感器

国家863项目(2012AA040502)

科技部

420

黄见秋

2010-2015

6

大型起重机械用微纳传感监控系统研制及工程示范

863课题,

2013AA041106

科技部

42.5

黄见秋

2013-2015

7

无线、无源、多参数微纳传感器与系统

863

科技部

567

秦明

2013-2015

8

XXXX

预研项目

部委

200

廖小平

黄庆安

2011-2015

9

XXXX

预研项目

部委

200

王  磊

黄庆安

2011-2015

10

***

国防973专题

部委

80

韩磊

2012.1-2015.12

11

无线、集成化无源传感器技术基础研究61136006

国家自然基金

重点项目

基金委

290

黄庆安

2012-2016

12

面向医学单分子诊断的卷曲复合贵金属微纳米管研究

国家自然科学基金(面上项目) 51271057

国家自然科学基金委员会

80

邱腾

2013-2016

13

金属-半导体特异介质中基于Fano 型杂化磁共振模的纳米发射特性研究

国家自然科学基金(11174051)

基金委

70

董正高

2012.01-2015.12

14

石墨烯CVD生长机理和切割碳纳米管制备石墨烯纳米带的理论研究

国家自然科学基金面上项目(21173040)

基金委

61

王金兰

2012/01-

2015/12

15

3d 过渡金属离子共掺杂BiFeO3的多铁性和自旋电子学应用研究

国家自然科学基金(面上项目)

基金委

60

徐庆宇

2012-2015

16

材料苛刻使役条件下性能与结构间关系的原位研究系统

国家自然科学基金设备专项

(113279028)

基金委

600

孙立涛

(子课题负责人)

2014.1-2018.12

17

纳米金属在电负载下的结构演化和力学行为

国家自然基金

(青年科学基金项目)

51201032

基金委

25

贺龙兵

2013-2015

20

石墨烯基锂离子电池负极材料嵌锂、脱锂行为的原位透射电子显微学研究

国家自然基金

(青年科学基金项目)

11204034

基金委

30

尹奎波

2013-2015

21

可同时测量磁场幅度和方向的微机械磁场传感器基础研究

国家自然基金

(青年科学基金项目)

61201032

基金委

25

陈洁

2013.1-2015.12

22

微机械加工多晶硅薄膜辐射效应基础研究61306139

国家自然基金

(青年科学基金项目)

基金委

25

王磊

2014.1-2016.12

23

低温环境快速响应MEMS湿度传感器研究61302021

国家自然基金

(青年科学基金项目)

基金委

26

黄见秋

2014.1-2016.12

24

用于生物单分子检测的新型二维纳米材料的按需构筑方法及机理研究51302037

国家自然基金

(青年科学基金项目)

基金委

24

谢骁

2014.1-2016.12

25

自聚焦超声玻璃微流控器件的发泡法制备及应用基础研究51275091

国家自然基金

面上项目

基金委

80

尚金堂

2013.1-2016.12

26

皮米分辨下石墨烯基锂离子电池电极微结构演化的原位动态表征与嵌/脱锂机制研究51372039

国家自然基金

面上项目

基金委

80

徐峰

2014.1-2017.12

27

金属-碳纳米管接触的原位构建及原子分辨界面微结构与电学特性研究

国家自然科学基金(61370042)

国家自然科学基金委员会

80

万能

2014.1-2017.12

28

用于第三代基因测序系统的石墨烯纳通道跨尺度集成制造原理及方法研究61274114

国家自然基金

面上项目

基金委

91

孙立涛

2013.1-2016.12

29

过渡金属衬底BCN二维材料的生长机理研究

中国博士后科研基金面上资助

(2014M561549)

中国博士后科学基金会

5

胡小会

2014-2015

30

基于微加工技术设计和制备可嵌入透射电子显微镜的场效应晶体管

江苏省博士后科研资助

(3206005603)

江苏省人力资源社会保障厅和江苏省财政厅

2

苏适

2014-2015

31

江苏省杰出青年基金

江苏省科技厅(BK20130016

江苏省科技厅

100

王金兰

2013/07-2016/06

32

石墨烯基纳米复合材料嵌/脱锂机制的原位透电镜研究

省级自然科学基金项目

BK2012123

江苏省科技厅项目-->省基础研究计划项目

20

尹奎波

2012.7-2015.6

33

基于全哈希表的厚胶光刻模拟快速推进算法及其应用研究

省级自然科学基金项目

BK2012324

江苏省科技厅项目-->省基础研究计划项目

20

周再发

2012.7-2015.6

34

外场作用下金属纳米材料的结构与性能

江苏省杰出青年基金项目

(BK2012024)

江苏省科学技术厅

150

孙立涛

2012-2015

35

杂化磁响应特异介质中的光学特性研究

江苏省自然科学基金BK20131283

江苏省科技厅

10

董正高

2013.7-2016.6

36

基于keating模型的硅纳米梁高频振荡特性分析及关键影响因素研究

省自然基金面上项目

BK20131108

省科技厅

10

于虹

2013.7-2016.6

37

基于全哈希表的厚胶光刻模拟快速推进算法及其应用研究

江苏省自然科学基金

BK2012324

江苏省科技厅

20

周再发

2012.7-2015.6

38

面向新型半导体芯片的激光切割装备

江苏省重大成果转化基金

江苏省科技厅

120

尚金堂

2014.42017.4

39

基于MEMS的静电式振动微型能量收集器研究

省基础研究计划项目

江苏省科技厅

20

黄晓东

2014.72017.6

40

****

教育部国防支撑项目

30

尚金堂

2012

41

零维纳米颗粒负极材料脱锂/嵌锂机制的原位电子显微学研究

教育部博士点基金-新教师类

(20120092120023)

教育部

4

尹奎波

2013-2015

42

基于原位电子显微技术研究纳米金属的力学行为和塑性变形机制

博士点新教师基金

教育部

贺龙兵

2012-2015

43

玻璃微纳集成流道的加工方法

传感器重点实验室开放重点基金

35

尚金堂

2011

44

江苏省333高层次人才培养工程

(省部重大科技计划)

江苏省人事厅

6

王金兰

2013-2015

45

微电子封装开发项目

江阴长电先进封装有限公司

横向

90

尚金堂

2011-

46

湿度传感器产品导入

横向课题

江苏物联网研究发展中心

100

黄见秋

2013-2015

47

温度传感器产品导入

横向课题

江苏物联网研究发展中心

100

聂萌

2013-2015

48

风速传感器产品导入

横向课题

江苏物联网研究发展中心

100

秦明

2013-2015

49

超高效石墨烯海绵吸附材料

江南石墨烯研究院

横向

200

孙立涛

2013-2015

50

东大-江南石墨烯研究院先进碳材料联合研发中心

江南石墨烯研究院

横向

60

孙立涛

2013-2015

51

基于玻璃回流与阳极键合工艺的3D MEMS器件制造与圆片级封装探索

华进半导体封装先导技术研发中心有限公司

横向

80

尚金堂

2013-2015

52

考虑工艺偏差的静电致动微结构反问题设计方法研究

其他

5

刘星

2013.102015.10

2.2发表的论著

2014年发表论文被SCI收录49篇。(详见论文集)

2.3获批专利

2014年批准39项发明专利,项实用新型专利。新申请77项发明专利, 5项实用新型专利。

序号

成果名称

发明人

国别

专利号

授权年

1

一种多晶硅泊松比在线测试结构

李伟华、张卫青、蒋明霞、周再发、刘海韵

中国

201210005078.3

2014

2

多晶硅材料残余应力在线测试结构

李伟华、张卫青、蒋明霞、周再发、刘海韵

中国

201210003497.3

2014

一种带有可横向推拉的梳齿单元的射微机械开关

王立峰、黄庆安、宋竞、韩磊

中国

201110139908.7

2014

4

一种可提高PN结反向击穿电压的装置

秦明、张睿

中国

201110448439.7

2014

5

多晶硅断裂强度的在线测试结构及其测试方法

李伟华、张卫青、周再发、刘海韵、蒋明霞

中国

201210007367.7

2014

6

基于环形电桥结构的水膜厚度检测传感器及检测方法

黄庆安、韩磊、殷刚毅、丁成

中国

201210133571.3

2014

7

一种无源无线温、湿度集成传感器

黄见秋、黄庆安、张聪

中国

201210498929.2

2014

8

微电子机械微波天线及其制备方法

廖小平、王德波

中国

201110009440.X

2014

9

微机械耦合度可重构微波功率耦合器及其制备方法

廖小平、刘合超、张志强

中国

201110283693.6

2014

10

一种低温漂压阻湿度传感器及其制作方法

秦明、周永丽、黄见秋

中国

201110447498.2

2014

11

一种二维热膜风速风向传感器及其制备方法

秦明、项天彧、陈升奇、周麟、黄庆安

中国

201210225095.8

2014

12

一种基于双线性插值算法的水膜厚度传感器实现方法

黄庆安、韩磊、殷刚毅、刘红

中国

201210143023.9

2014

13

基于向机械硅基固支梁的频率检测器及检测方法

廖小平、华迪

中国

201210204579.4

2014

14

基于微机械砷化镓基的悬臂梁频率检测器及检测方法

廖小平、易真翔

中国

201210204645.8

2014

15

基于微机械硅基悬臂梁的频率检测器及检测方法

廖小平、华迪

中国

201210204663.6

2014

16

一种可自动稳定档板位置的静电驱动可变光衰减器

秦明、匡蕾、陈升齐

中国

201210508549.2

2014

17

微电子机械悬臂梁开关式微波功率耦合及其制备方法

廖小平、刘合超、张志强

中国

201110283677.7

2014

18

多晶硅热膨胀系数在线测试结构

李伟华、袁风良、周再发蒋明霞、刘海韵      

中国

201210005077.9

2014

19

一种基于碳纳米管阵列封装的热风传感器

秦明、周麟、陈升奇、黄庆安      

中国

201210504673.1

2014

20

一种高灵敏度风速风向传感器

秦明、胡世镔、陈实       

中国

201210559401.1

2014

21

MEMS玻璃球面超声换能器片上集成系统及其制备方法

尚金堂、罗新虎、秦顺金、于慧

中国

201110300696.6

2014

22

基于微机械硅基固支梁的相位检测器及检测方法

廖小平、华迪

中国

201210204577.5

2014

23

基于微机械砷化镓基的悬臂梁相位检测器及检测方法

廖小平、易真翔

中国

201210204625.0

2014

24

微机械悬臂梁开关在线式微波功率检测器及制备方法

廖小平刘合超、张志强

中国

201110283705.5

2014

25

基于微机械砷化稼基固支梁的相位检测器及检测方法

廖小平、易真翔

中国

201210204219.4

2014

26

基于微机械砷化镓基固支梁的频率检测器及检测方法

廖小平、易真翔

中国

201210204654.7

2014

27

基于微机械硅基悬臂梁的相位检测器及检测方法

廖小平、华迪

中国

201210204640.5

2014

28

一种微机械系统中接触式电阻压力传感器及其测量方法

唐洁影、陈洁

中国

201210516098.7

2014

29

一种微机械系统中微悬臂梁粘附力的测量结构及测量方法

唐洁影、蒋明霞

中国

201210516342.X

2014

30

一种具有温漂补偿的电容湿度传感器及其制作方法

秦明、周永丽、黄见秋

中国

201110456757.8

2014

31

一种易于封装的磁场传感器

陈洁、黄庆安、秦明

中国

201210236890.7

2014

32

微电子机械导热介质填充终端式微波功率传感器及制备方法

廖小平、刘彤、王德波

中国

201110364699.6

2014

33

一种微波均衡器

韩磊

中国

201210133572.8

2014

34

一种微波衰减器

韩磊

中国

201210133585.5

2014

35

一种可自动零点补偿的热风速传感装置及测量风速的方法

秦明、陈升奇、周麟

中国

201210506706.6

2014

36

一种在光刻胶刻蚀过程中表面演化模拟的哈希推进方法

周再发、施立立、黄庆安、李伟华、、张恒

中国

201210538668.2

2014

37

四输入微机械悬臂梁热电式微波功率传感器及制备方法

廖小平、张志强

中国

201110229462.7

2014

38

一种遴硅玻璃和多晶硅厚度的在线同步测试装置

刘海韵、黄庆安、周再发

中国

201210177975.2

2014

39

一种风速风向传感器

秦明、陈实、陈升奇

中国

201210558280.9

2014


三. 队伍建设和人才培养

本年度博士留校1人,国外引进人才2人

2014毕业研究生一览表

学号

姓名

学位

指导教师

099184

蔡春华

博士

秦明

099185

余辉洋

博士

秦明

099190

张志强

博士

廖小平

099191

胡小会

博士

孙立涛

091128

王文岩

硕士

廖小平

111153

王浩

硕士

黄庆安

111160

周麟

硕士

秦明

111162

曹坤

硕士

于虹

111163

陈方韬

硕士

孙立涛

111165

陈文浩

硕士

黄庆安

111166

董雪鹏

硕士

黄庆安

111168

郭力

硕士

黄庆安

111171

姜文

硕士

廖小平

111179

王雷

硕士

李伟华

111181

吴昊

硕士

廖小平

111183

徐佳峰

硕士

尚金堂

111189

邹羽

硕士

尚金堂

111195

陈帅

硕士

唐洁影

111202

陈友鹏

硕士

尚金堂

111205

陈升奇

硕士

秦明

111208

单园园

硕士

秦明

111212

王裕希

硕士

孙立涛

111215

李峄

硕士

雷双瑛

111216

张晓强

硕士

李伟华

111188

吴兵

硕士

沈克强

111196

乔威

硕士

廖小平

111207

郭本领

硕士

沈克强

111210

姚文杰

硕士

于虹

121210

闫浩

硕士

廖小平

111513

白静

硕士

施智祥

111522

盛燕

硕士

徐庆宇

113238

周鹏

工程硕士

沈克强

113271

杜瀚宇

工程硕士

秦明

113279

葛悦

工程硕士

黄庆安

共计博士4名,硕士25名,工程硕士3人。

四.国内外学术交流和会议

参加国外国际会议25人次;参加国内国际会议12人次;国外学者到实验室讲学5人。

五.依托单位给予的支持

为支持实验室发展,学校在建设经费上给予重点支持。2014年“985工程”三期省配套拨款140万元购设备, 2014年江苏省优势学科拨款34万元;2014年学校投入实验室管理和运行经费40万元(其中用于开放课题12万元)。

六.运行经费的使用情况

实验室运行经费主要来源于科研经费,严格按照国家项目管理规定执行。

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