2013年实验室年度报告
作者: 发布日期:2015-08-18

实验室(中心)

所属学科

工程科学

实验室(中心)

性质

基础研究

应用基础研究

应用

开发

教育部重点实验室

工作年报

实验室名称:微电子机械系统(MEMS)教育部重点实验室  

学科(领域): 微电子学与固体电子学(工程领域)

依托单位:     东南大学           

联系电话           02583792632-8840    

传    真:          02583792939     

网    址:     http://mems.seu.edu.cn

Email地址       jiangmx@seu.edu.cn     

2014115日 填报


实验室名称:微电子机械系统教育部重点实验室

                    Key Laboratory of Micro-Electro-Mechanical-Systems of Ministry of Education of China

学科分类:(一级学科)电子科学与技术

          (二级学科)微电子学与固体电子学

挂靠单位:东南大学

二.  实验室工作纪要

简介2013年完成国家973项目1项计97.24万元,国防973项目4项计360万元,国家自然基金项目8项计253万元,其它项目4项计54.6 万元;在研项目41项计5751.6万元2013年论文被SCI收录61篇。2013年批准36项发明专利,22项实用新型专利。新申请117项发明专利,32项实用新型专利。本年度博士留校2人,博士后留校1人。毕业博士4名,硕士27名,工程硕士6人。2013年度参加国际会议35人次;2013年“985工程”三期中央拨款86万元购设备,省配套269万元购设备,与超高温真空模压系统配套的电路、环境和土建改造5万元2013年省优势学科拨款26.828万元,2013年学校投入实验室管理和运行经费40万元(其中用于开放课题12万元)。

2.1  科研项目与经费

2013年完成项目17项计764.84万元;2013年在研项目41项计5751.6万元。

2013年完成项目一览表

序号

项目名称

来源与批准号

批准

部门

经费

万元

负责人

执行年

1

XXXX

国防973三级课题

(XXXXX)

部委

110

韩 磊

2009-2012

2

XXXX

国防973三级课题

(XXXXX)

部委

100

2009-2012

3

XXXX

国防973三级课题

(XXXXX)

部委

100

唐洁影

2009-2012

4

XXXX

国防973三级课题

(XXXXX)

部委

50

廖小平

2009-2012

5

基于光斑位置敏感的风速传感器集成系统研究

国家自然基金

(面上项目)

61076071

基金委

39

秦明

2011-2013

6

基于MEMS功率传感器的无线接收式微波频率检测集成系统的设计理论和实现方法的研究

国家自然基金

(面上项目)

61076108

基金委

39

廖小平

2011-2013

7

用修正的K. P微扰理论研究弯曲形变硅纳米梁的力电耦合性质

国家自然基金

(青年科学基金项目)

61001044

基金委

24

雷双瑛

2011-2013

8

GPa高压下单晶金属纳米材料的原位动态表征与塑性变形机理研究

国家自然基金

(面上项目)

(51071044)

基金委

40

孙立涛

2011-2013

9

金属-碳纳米管接触的原位构建及其界面微结构与电学性质研究

国家自然基金

(青年科学基金项目)

(61006011)

基金委

24

万能

2011-2013

10

基于有序银岛膜的表面增强荧光及其在高灵敏和抗猝灭细胞显微成像中的应用

国家自然基金

(面上项目)

(51071045)

基金委

38

邱腾

2011-2013

11

有机金属三明治团簇与纳米线的结构、电磁性质和输运行为研究

国家自然科学基金面上项目(11074035)

基金委

39

王金兰

2011/01-

2013/12

12

石墨烯基锂离子电池的原位构建及皮米分辨下电极微结构

演变的动态表征与机理研究

国家自然基金

(专项基金项目-主任基金)

21243011

基金委

10

徐峰

2013.1-2013.12

13

外场作用下单体低维材料物性与结构演变关系的表征测量

国家973项目(2009CB623702)

科技部

97.24 

孙立涛(子课题)

2011-2013

14

基于TEM的电子辐照诱导原子尺度纳米加工与动态表征

教育部博士点基金--博导类(20100092110014)

教育部

6

孙立涛

2011-2013

15

基于碳纳米管的两端器件原位构建

教育部博士点基金新教师基金

(20100092120021)

教育部

3.6

万能

2010-2013

16

微纳尺度下材料的塑性变形机理和原位实验方法研究

江苏省“333高层次人才培养工程科研项目资助经费

江苏省科学技术厅

35

孙立涛

2012-2013

17

半导体器件失败机理的原理电子

省级自然科学基金项目

BK2011592

江苏省科技厅项目-->省基础研究计划项目

10

贺龙兵

2011-9-2013-9

在研课题及2013年在研课题一览表

序号

项目名称

来源与批准号

批准

部门

经费

万元

负责人

执行年

1

In-situ observation of microstructure evolution in selected automotive materials under externally applied mechanical load and electric pulse

General Motors China Science Lab

General Motors (China) Investment Company Limited 

General Motors China Science Lab

Total amount – RMB 60.60 (USD 95k)

孙立涛

2012-2014

2

高密度三维系统级封装的关键技术研究子课题

国家重大科技专项(2009ZX02038)来源子课题

科技部

328

尚金堂

2009-

3

基于皮米分辨透射电镜的5纳米以下三维纳通道跨尺度集成制造及力学性能表征

国家973项目(2011CB707600)

科技部

192

孙立涛

2011-2015

4

CMOS MEMS PCM与CMOS MEMS

国家级重大专项

科技部

1500

黄庆安

周再发

2011-

5

水陆交通安全传感器及系统

863重大项目

2011AA040404

科技部

344.5

韩  磊

黄庆安

2011-

6

应用于探空仪的MEMS温度、湿度和气压系列传感器

国家863项目(2012AA040502)

科技部

420

黄见秋

2010-2014

7

大型起重机械用微纳传感监控系统研制及工程示范

863课题,

2013AA041106

科技部

42.5

黄见秋

2013-2015

8

无线、无源、多参数微纳传感器与系统

863

科技部

567

秦明

2013-2015

9

XXXX

预研项目

部委

200

廖小平

黄庆安

2011-2015

10

XXXX

预研项目

部委

200

王  磊

黄庆安

2011-2015

11

***

国防973专题

部委

80

韩磊

2012.1-2015.12

12

无线、集成化无源传感器技术基础研究61136006

国家自然基金

重点项目

基金委

290

黄庆安

2012-2016

13

面向医学单分子诊断的卷曲复合贵金属微纳米管研究

国家自然科学基金(面上项目) 51271057

基金委

80

邱腾

2013-2016

14

金属-半导体特异介质中基于Fano 型杂化磁共振模的纳米发射特性研究

国家自然科学基金(11174051)

基金委

70

董正高

2012.01-2015.12

15

石墨烯CVD生长机理和切割碳纳米管制备石墨烯纳米带的理论研究

国家自然科学基金面上项目(21173040)

基金委

61

王金兰

2012/01-

2015/12

16

基于RF MEMS开关的可重构微波均衡器设计理论与实现方法的研究

国家自然基金

(青年科学基金项目)

(61106114)

基金委

25

韩磊

2012-2014

17

基于原位电子显微学的太阳电池电极结构研究及其光电性质动态表征

国家自然基金

(青年科学基金项目)

(61106055)

基金委

25

徐峰

2012-2014

18

石墨烯中缺陷的拉曼光谱研究

国家自然科学基金11104026

基金委

30

倪振华

2012-2014

19

纳米金属在电负载下的结构演化和力学行为

国家自然基金

(青年科学基金项目)

51201032

基金委

25

贺龙兵

2013-2015

20

石墨烯基锂离子电池负极材料嵌锂、脱锂行为的原位透射电子显微学研究

国家自然基金

(青年科学基金项目)

11204034

基金委

30

尹奎波

2013-2015

21

可同时测量磁场幅度和方向的微机械磁场传感器基础研究

国家自然基金

(青年科学基金项目)

61201032

基金委

25

陈洁

2013.1-2015.12

22

材料塑性成型的微观变形机理与方法研究

教育部科学研究重大项目(311019)

教育部

100

孙立涛

2012.01-2014.12

23

江苏省杰出青年基金

江苏省科技厅(BK20130016

江苏省科技厅

100

王金兰

2013/07-2016/06

24

石墨烯基纳米复合材料嵌/脱锂机制的原位透电镜研究

省级自然科学基金项目

BK2012123

江苏省科技厅项目-->省基础研究计划项目

20

尹奎波

2012.7-2015.6

25

基于全哈希表的厚胶光刻模拟快速推进算法及其应用研究

省级自然科学基金项目

BK2012324

江苏省科技厅项目-->省基础研究计划项目

20

周再发

2012.7-2015.6

26

基于石墨烯中缺陷和应力的拉曼光谱研究

江苏省自然科学基金BK2011585

江苏省科技厅

10

倪振华

2012-2014

27

杂化磁响应特异介质中的光学特性研究

江苏省自然科学基金BK20131283

江苏省科技厅

10

董正高

2013.7-2016.6

28

外场作用下金属纳米材料的结构与性能

江苏省杰出青年基金项目

(BK2012024)

江苏省科学技术厅

150

孙立涛

2012-2015

29

基于keating模型的硅纳米梁高频振荡特性分析及关键影响因素研究

省自然基金面上项目

BK20131108

省科技厅

10

于虹

2013.7-2016.6

30

基于全哈希表的厚胶光刻模拟快速推进算法及其应用研究

江苏省自然科学基金

BK2012324

江苏省科技厅

20

周再发

2012.7-2015.6

31

****

教育部国防支撑项目

30

尚金堂

2012

32

单层石墨烯的制备及性能表征

教育部新世纪优秀人才NCET-11-0094

教育部

50

倪振华

2012-2014

33

路面状况检测器检测技术及检测方法研究

交通运输部标准计量质量研究项目,2012-318-223-100

交通运输部

3

韩磊

2012.3-2014.2

34

零维纳米颗粒负极材料脱锂/嵌锂机制的原位电子显微学研究

教育部博士点基金-新教师类

(20120092120023)

教育部

4

尹奎波

2013-2015

35

基于原位电子显微技术研究纳米金属的力学行为和塑性变形机制

博士点新教师基金

教育部

贺龙兵

2012-2015

36

玻璃微纳集成流道的加工方法

传感器重点实验室开放重点基金

35

尚金堂

2011

37

微电子封装开发项目

江阴长电先进封装有限公司

横向

90

尚金堂

2011-

38

湿度传感器产品导入

横向课题

江苏物联网研究发展中心

100

黄见秋

2013-2015

39

温度传感器产品导入

横向课题

江苏物联网研究发展中心

100

聂萌

2013-2015

40

风速传感器产品导入

横向课题

江苏物联网研究发展中心

100

秦明

2013-2015

41

超高效石墨烯海绵吸附材料

江南石墨烯研究院

200

孙立涛

2013-2015

2.2 发表的论著

2013年发表论文被SCI收录61篇。(详见论文集)

2.3 获批专利

2013年批准36项发明专利,22项实用新型专利。新申请117项发明专利,32项实用新型专利。

序号

成果名称

发明人

国别

专利号

授权年

1

一种石墨烯负载四氧化三钴纳米复合材料及其制备方法

尹奎波、孙立涛、毕恒昌、孙俊、     万能

中国

ZL201010158087.7

2013

2

基于减薄工艺的热式风速风向传感器及其制备方法

董自强、黄庆安、秦明

中国

ZL201110008120.2

2013

3

一种测量硅片键合强度的微结构及其制造方法

秦明、康兴化、胡尔同

中国

ZL201110055917.8

2013

4

一种石墨烯/氧化石墨烯复合膜及其制备方法

尹奎波、毕恒昌、孙立涛、孙俊、      徐峰、万能

中国

ZL201010607319.2

2013

5

一种无电荷注入疚高可靠性电容式射频微机电系统

赵成、黄庆安

中国

ZL201110003700.2

2013

6

跨微纳尺度集成流道的制备方法

尚金堂、于慧、罗新虎、刘靖东、       蒋明霞

中国

ZL201010620619.4

2013

7

一种常开态声发射型射频微机械开关

黄庆安、王立峰、唐洁影、韩磊、         张晓兵

中国

ZL201010591240.5

2013

8

常关态声发射型射频微机械开关

黄庆安、王立峰、唐洁影、韩磊、         张晓兵

中国

ZL201010591238.8

2013

9

路面状态检测传感器及其检测系统和检测方法

殷刚毅、丁卯、黄庆安

中国

ZL201110126609.X

2013

10

一种风速风向测量装置

秦明、匡蕾、顾飞

中国

ZL201110055730.8

2013

11

一种微电子加速度传感器及其制备工艺

秦明、蔡春华

中国

ZL201110193706.0

2013

12

一种微电子温度传感器及其制备工艺

秦明、蔡春华

中国

ZL201110194200.1

2013

13

微电子机械微波功率自动检测系统及其检测方法和制备方法

廖小平、朱政

中国

ZL201110055062.9

2013

14

基于各向异性导热衬底的热式风传感器及其制备方法

董自强、黄庆安、秦明

中国

ZL201110008119.X

2013

15

染料敏化太阳能电池光阳极用氧化锌复合纳米结构及制法

徐峰、沈昱婷、林婧婧、孙立涛

中国

ZL201110180572.9

2013

16

微电子机械悬梁式微波功率耦合器及其制备方法

廖小平、苏适

中国

ZL200810236278.3

2013

17

三通道微机械悬臂梁间接式微波功率传感器及制备方法

廖小平、张志强

中国

ZL201110229127.7

2013

18

三通道微机械固支梁间接式微波功率传感器及制备方法

廖小平、张志强

中国

ZL201110229446.8

2013

19

1ZL200角三通道微电子机械微波功率传感器及制备方法

廖小平、张志强

中国

ZL201110229397.8

2013

20

四输入微机械固支梁热电式微波功率传感器及制备方法

廖小平、张志强

中国

ZL201110229467.X

2013

21

五端口基于微机械悬臂梁电容型微波功率传感器及制备

廖小平、张志强

中国

ZL201110229443.4

2013

22

7ZL20角五端口微电子机械微波功率传感器及制备方法

廖小平、张志强

中国

ZL201110229109.9

2013

23

五端口基于微机械固支梁电容型微波功率传感器及制备

廖小平、张志强

中国

ZL201110229120.5

2013

24

一种带有可纵向推拉的梳齿单元的射微机械开关

王立峰、黄庆安、宋竞、韩磊

中国

ZL201110139909.1

2013

25

具有低驱动电压的射频微机械系统电容式并联开关

张晓艳、黄庆安、韩磊、王磊

中国

ZL201110088093.4

2013

26

微电子机械固支梁式定向微波功率耦合器及其制备方法

廖小平、张志强

中国

ZL201010240185.5

2013

27

900角四输入微电子机械微波功率传感器及制备方法

廖小平、张志强

中国

ZL201110229449.1

2013

28

多晶硅-金属热电偶塞贝克系数的在线测试结构

李伟华、袁风良、周再发、蒋明霞、刘海韵      

中国

ZL201210005598.4

2013

29

微电子机械定向耦合式微波功率传感器及其制备方法

廖小平、张志强

中国

ZL201010240182.1

2013

30

基于在线式微电子机械微波功率传感器的波接收机前端

廖小平、张志强

中国

ZL201110003103.X

2013

31

基于微电子机械微波功率伟感可重构的微波接收机前端

廖小平、张志强

中国

ZL201110002997.0

2013

32

一种带有要双向推拉的梳齿单元的射频微机械开关

王立峰、黄庆安、宋竞、韩磊

中国

ZL201110139906.8

2013

33

一种微电子压力传感器及其制备工艺

秦明、余辉洋

中国

ZL201110193962.X

2013

34

微机械耦合度可重构微波功率在线检测器及其制备方法

廖小平、刘合超、张志强

中国

ZL201110283706.X

2013

35

微电子机械悬臂梁式微波功率自动检测系统及其检测方法和制备方法

廖小平 朱政

中国

ZL201110055052.5

2013

36

一种石墨烯铸体的铸造方法

孙立涛、毕恒昌、尹奎波、徐峰、  万能

中国

ZL201110380703.8

2013


三. 队伍建设和人才培养

本年度博士留校2人,博士后留校1人

2013毕业研究生一览表

学号

姓名

学位

指导教师

79444

刘 星

博士

黄庆安

89199

王立峰

博士

黄庆安

099181

刘海韵

博士

黄庆安

099189

华 迪

博士

廖小平

101141

匡 蕾

硕士

秦 明

101157

崔 萌

硕士

沈克强

101160

朱健隆

硕士

李伟华

101163

周永丽

硕士

黄庆安

101167

陈文雅

硕士

黄庆安

101173

蒯文林

硕士

尚金堂

101180

王亭亭

硕士

尚金堂

101181

项天

硕士

秦 明

101182

徐富荣

硕士

李伟华

101183

杨 刚

硕士

廖小平

101186

张 睿

硕士

秦 明

101191

朱雁青

硕士

唐洁影

101192

顾 勇

硕士

于 虹

101196

张凌云

硕士

于 虹

101197

周 锐

硕士

廖小平

101198

浦 

硕士

李伟华

101199

王 靖

硕士

孙立涛

101208

魏文龙

硕士

尚金堂

101211

张 义

硕士

孙立涛

101215

梅 森

硕士

孙立涛

101216

秦顺金

硕士

尚金堂

101221

苏简雷

硕士

沈克强

101222

张振江

硕士

孙立涛

101223

钱进进

硕士

唐洁影

101168

陈志远

硕士

于 虹

101203

杨 国

硕士

廖小平

101205

李 磊

硕士

雷双瑛

103219

秦登温

工程硕士

黄庆安

103223

丁 成

工程硕士

黄庆安

103249

罗仁虎

工程硕士

黄庆安

103255

刘玉军

工程硕士

黄庆安

103260

鞠 勇

工程硕士

黄庆安

103300

胡大君

工程硕士

黄庆安

共计博士4名,硕士27名,工程硕士6人。

 

四.国内外学术交流和会议

参加国外国际会议16人次;参加国内国际会议16人次;参加国际会议特邀报告6篇。

五. 依托单位给予的支持

为支持实验室发展,学校在建设经费上给予重点支持。2013年“985工程”三期中央拨款86万元购设备,省配套269万元购设备,与超高温真空模压系统配套的电路、环境和土建改造5万元2013年江苏省优势学科拨款26.828万元;2013年学校投入实验室管理和运行经费40万元(其中用于开放课题12万元)。

六. 运行经费的使用情况

实验室运行经费主要来源于科研经费,严格按照国家项目管理规定执行。

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