2012年实验室年度报告
作者: 发布日期:2015-08-18

实验室(中心)

所属学科

工程科学

实验室(中心)

性质

基础研究

应用基础研究

应用

开发

 

 

教育部重点实验室

工作年报

 

 

实验室名称:  微电子机械系统(MEMS)教育部重点实验室  

学科(领域): 微电子学与固体电子学(工程领域)

依托单位:    东南大学           

联系电话   02583792632-8840    

传    真:   02583792939     

网    址:    http://mems.seu.edu.cn

Email地址   jiangmx@seu.edu.cn     

 

2013115日 填报


实验室名称:微电子机械系统教育部重点实验室

Key Laboratory of Micro-Electro-Mechanical-Systems of Ministry of Education of China

学科分类:(一级学科)电子科学与技术

          (二级学科)微电子学与固体电子学

挂靠单位:东南大学

二.  实验室工作纪要

简介2012年完成完成国家自然基金项目2项计58万元,其它项目2项计79.77万元;在研项目47项计5710.94万元。2012年论文被SCI收录42篇。2012年批准33项发明专利,24项实用新型专利。新申请65项发明专利,15项实用新型专利。本年度博士留校1人。毕业博士6名,硕士27名。2012年度主办国际学术会议1次;参加国际会议41人次;国外学者到实验室讲学9人。2012年“985工程”三期拨款250万元购设备。2012年省优势学科拨款45万元,2012年学校投入实验室管理和运行经费40万元(其中用于开放课题12万元)。

2.1  科研项目与经费

2012年完成项目4项计137.77万元;2012年在研项目47项计5710.94万元

2012年完成项目一览表

序号

项目名称

来源与批准号

批准

部门

经费

万元

负责人

执行年

1

基于MEMS功率传感技术的单片微波相位集成检测系统的设计理论与实现方法的研究

国家自然科学基金

60976094

基金委

36

廖小平

2010-2012

2

CMOS兼容的电容式气压传感器的设计与工艺研究

国家自然科学基金

60901009

基金委

22

  

2010-2012

3

教育部新世纪优秀人才支持计划Program for New Century Excellent Talents in University

教育部

NCEF-09-0293

教育部

50

孙立涛

2010-2012

4

MEMS技术可靠性研究项目

YBMO2012188

华为终端有限公司

29.77

王磊

2012.1-2012.12

 

在研课题及2012年在研课题一览表(不含当年结题项目)

序号

项目名称

来源与批准号

批准

部门

经费

万元

负责人

执行年

1

In-situ observation of microstructure evolution in selected automotive materials under externally applied mechanical load and electric pulse

General Motors China Science Lab

 

General Motors (China) Investment Company Limited 

General Motors China Science Lab

 

Total amount – RMB 60.6 (USD 95k)

孙立涛

2012-2014

2

高密度三维系统级封装的关键技术研究子课题

国家重大科技专项(2009ZX02038)来源子课题

科技部

328

尚金堂

2009-2012

3

外场作用下单体低维材料物性与结构演变关系的表征测量

国家973项目(2009CB623702)

科技部

97.24

孙立涛

2009-2013

4

基于皮米分辨透射电镜的5纳米以下三维纳通道跨尺度集成制造及力学性能表征

国家973项目(2011CB707600)

科技部

192

孙立涛

2011-2015

5

新型铁基超导材料实用化和钇钡铜氧涂层导体厚化过程中基础科学问题

国家重点基础研究发展计划(973)2011CBA00105

科技部

85

施智祥

2012

6

CMOS MEMS PCM与CMOS MEMS

国家级重大专项

科技部

1500

黄庆安

周再发

2011-2013

7

水陆交通安全传感器及系统

863重大项目

2011AA040404

科技部

344.5

韩  磊

黄庆安

2011-2013

8

应用于探空仪的MEMS温度、湿度和气压系列传感器

国家863项目(2012AA040502)

科技部

420

黄见秋

2010-2014

9

XXXX

国防973三级课题

XXXXX

部委

110

韩  磊

2009-2012

10

XXXX

国防973三级课题

XXXXX

部委

100

  

2009-2012

11

XXXX

国防973三级课题

XXXXX

部委

100

唐洁影

2009-2012

12

XXXX

国防973三级课题

XXXXX

部委

50

廖小平

2009-2012

13

XXXX

预研项目

部委

200

廖小平

2011-2015

14

XXXX

预研项目

部委

200

王  磊

黄庆安

2011-2015

15

***

国防973专题

部委

80

韩磊

2012.1-2015.12

16

无线、集成化无源传感器技术基础研究61136006

国家自然基金

重点项目

基金委

290

黄庆安

2012-2016

17

基于光斑位置敏感的风速传感器集成系统研究

国家自然基金

面上项目

61076071

基金委

39

秦明

2011-2013

18

基于MEMS功率传感器的无线接收式微波频率检测集成系统的设计理论和实现方法的研究

国家自然基金

面上项目

61076108

基金委

39

廖小平

2011-2013

19

用修正的K. P微扰理论研究弯曲形变硅纳米梁的力电耦合性质

国家自然基金

(青年科学基金项目)

61001044

基金委

24

雷双瑛

2011-2013

20

GPa高压下单晶金属纳米材料的原位动态表征与塑性变形机理研究

国家自然基金

面上项目

(51071044)

基金委

40

孙立涛

2011-2013

21

金属-碳纳米管接触的原位构建及其界面微结构与电学性质研究

国家自然基金

(青年科学基金项目)

(61006011)

基金委

24

万能

2011-2013

22

基于有序银岛膜的表面增强荧光及其在高灵敏和抗猝灭细胞显微成像中的应用

国家自然基金

面上项目

(51071045)

基金委

38

邱腾

2011-2013

23

无线、集成化无源传感器技术基础研究61136006

国家自然基金

重点项目

基金委

290

黄庆安

2012-2016

24

基于RF MEMS开关的可重构微波均衡器设计理论与实现方法的研究

国家自然基金

(青年科学基金项目)

(61106114)

基金委

25

韩磊

2012-2014

25

基于原位电子显微学的太阳电池电极结构研究及其光电性质动态表征

国家自然基金

(青年科学基金项目)

(61106055)

基金委

25

徐峰

2012-2014

26

金属-半导体特异介质中基于Fano 型杂化磁共振模的纳米发射特性研究

国家自然科学基金(11174051)

基金委

70

董正高

2012.01-2015.12

27

有机金属三明治团簇与纳米线的结构、电磁性质和输运行为研究

 

国家自然科学基金面上项目(11074035)

39

王金兰

2011/01-

2013/12

28

石墨烯CVD生长机理和切割碳纳米管制备石墨烯纳米带的理论研究

国家自然科学基金面上项目(21173040)

61

王金兰

2012/01-

2015/12

29

石墨烯中缺陷的拉曼光谱研究

国家自然科学基金11104026

基金委

30

倪振华

2012-2014

30

材料塑性成型的微观变形机理与方法研究

教育部科学研究重大项目

教育部

100

孙立涛

2012.01-2014.12

31

路面状况检测器检测技术及检测方法研究

交通运输部标准计量质量研究项目,2012-318-223-100

交通运输部

3

韩磊

2012.3-2014.2

32

半导体器件失败机理的原理电子

省级自然科学基金项目

BK2011592

江苏省科技厅项目-->省基础研究计划项目

10

贺龙兵

2011-9-2013-9

33

石墨烯基纳米复合材料嵌/脱锂机制的原位透电镜研究

省级自然科学基金项目

BK2012123

江苏省科技厅项目-->省基础研究计划项目

20

尹奎波

2012.7-2015.6

34

基于全哈希表的厚胶光刻模拟快速推进算法及其应用研究

省级自然科学基金项目

BK2012324

江苏省科技厅项目-->省基础研究计划项目

20

周再发

2012.7-2015.6

35

****

教育部国防支撑项目

教育部

30

尚金堂

2012

36

单层石墨烯的制备及性能表征

教育部新世纪优秀人才NCET-11-0094

教育部

50

倪振华

2012-2014

37

微纳尺度下材料的塑性变形机理和原位实验方法研究

江苏省“333高层次人才培养工程科研项目资助经费

江苏省科学技术厅

35

孙立涛

2012-2013

38

外场作用下金属纳米材料的结构与性能

江苏省杰出青年基金项目

(BK2012024)

江苏省科学技术厅

150

孙立涛

2012-2015

39

基于石墨烯中缺陷和应力的拉曼光谱研究

江苏省自然科学基金BK2011585

江苏省科学技术厅

10

倪振华

2012-2014

40

基于全哈希表的厚胶光刻模拟快速推进算法及其应用研究

江苏省自然科学基金

BK2012324

江苏省科技厅

20

周再发

2012.7-2015.6

41

基于TEM的电子辐照诱导原子尺度纳米加工与动态表征

教育部博士点基金--博导类(20100092110014)

教育部

6

孙立涛

2011-2013

42

基于碳纳米管的两端器件原位构建

教育部博士点基金新教师基金

(20100092120021)

教育部

3.6

万能

2010-2013

43

基于原位电子显微技术研究纳米金属的力学行为和塑性变形机制

博士点新教师基金

教育部

贺龙兵

2012-2015

44

玻璃微纳集成流道的加工方法

传感器重点实验室开放重点基金

35

尚金堂

2011-

45

MEMS气象传感器系列产品开发

河南凯迈(洛阳)测控有限公司

横向

198

黄庆安

2008-2012

46

MEMS外力驱动开头

江阴长电

横向

25

韩  磊

黄庆安

2011-2012

47

微电子封装开发项目

江阴长电先进封装有限公司

横向

90

尚金堂

2011-

 

 

2.2 发表的论著

2012年发表论文被SCI收录42篇。(详见论文集)

2.3 获批专利

2012年批准33项发明专利,24项实用新型专利。新申请65项发明专利,15项实用新型专利。

序号

名称

发明人

专利号

类别

申请

时间

授权

时间

1

圆片级玻璃微流道的正压热成型制造方法

尚金堂

陈波寅

张迪

徐超           柳俊文

唐洁影

黄庆安

201010100938.2

中国

发明专利

2010

2012

2

微机械气压传感器芯片的封装结构及其制备方法

聂萌

黄庆安

秦明

201010204229.9

中国

发明专利

2010

2012

3

一种射频微机电系统器件封装热应变的测量方法

赵成

黄庆安

宋竟

201010222856.5

中国

发明专利

2010

2012

4

超声波风速风向测量装置

秦明

匡蕾

201010221120.6

中国

发明专利

2010

2012

5

圆形铂金薄膜二维风速风向传感器

李伟华

201010501568.3

中国

发明专利

2010

2012

6

固体电容式结构微型传声器

黄庆安

周闵新

秦明

200610039422.5

中国

发明专利

2006

2012

7

微电机系统磁场传感器及磁场测量方法

陈洁

黄庆安

秦明

张中平

200710022805.6

中国

发明专利

2007

2012

8

无线接收式微电子机械微波频率检测系统及其制备方法

廖小平

王德波

易真翔

201010103655.3

中国

发明专利

2010

2012

9

加速度计止挡结构

钱栋彪

黄庆安

唐洁影

宋竞

201110053174.0

中国

发明专利

2011

2012

10

矩形铂金薄膜二维风速风向

李伟华

201010501561.1

中国

发明专利

2010

2012

11

发光二极管的圆片级玻璃微腔封装方法

尚金堂

徐超

陈波寅

张迪

于慧

罗新虎

刘靖东

201010552449.0

中国

发明专利

2010

2012

12

微电子机械二选一微波开关及其制备方法

廖小平

杨乐

张志强

200810156451.9 

中国

发明专利

2008

2012

13

具有红外线聚焦功能的MEMS红外传感器的封装方法

黄庆安

尚金堂

柳俊文

唐洁影

徐超

张迪

陈波寅

201010204606.9

中国

发明专利

2010

2012

14

MEMS悬臂梁式在线微波功率传感器及其制备方法

廖小平

张志强

201010223806.9

中国

发明专利

2010

2012

15

MEMS固支梁式在线微波功率传感器及其制备方法

廖小平

张志强

201010223810.5

中国

发明专利

2010

2012

16

圆形硅膜二维风速风向传感器

李伟华

201010501597.X

中国

发明专利

2010

2012

17

矩形硅膜二维风速风向传感器

李伟华

201010501541.4

中国

发明专利

2010

2012

18

矩形硅薄膜微机电压力传感器

李伟华

201010501549.0

中国

发明专利

2010

2012

19

一种进行圆片级电互边与引出的装置及其加工方法

王珍

王磊

唐洁影

黄庆安

201010603002.1

中国

发明专利

2010

2012

20

发光二极管倒装芯片的圆片级玻璃球腔封装方法

尚金堂

徐超

陈波寅

张迪

于慧

罗新虎

刘靖东

201010552457.5

中国

发明专利

2010

2012

21

一种快速响应的CMSO相对温度传感器

赵成龙

黄庆安

秦明

200910183227.3

中国

发明专利

2009

2012

22

MEMS封装用圆片级玻璃微腔的制造方法

尚金堂

陈波寅

张迪

徐超

柳俊文

唐洁影

黄庆安

200910263297.X

中国

发明专利

2009

2012

23

二元光学玻璃透镜的制造及封装MEMS红外探测器的方法

尚金堂

徐超

张迪

陈波寅

柳俊文

唐洁影

黄庆安

201010200240.8

中国

发明专利

2010

2012

24

用于微电子系统级封装的高密度转接板的制备方法

尚金堂

于慧

罗新虎

蒋明霞

刘靖东

201010617889.X

中国

发明专利

2010

2012

25

微电子机械开关电介质注入的测试结构及其制备方法

廖小平

周易

201010200408.5

中国

发明专利

2010

2012

26

基于阳极键合工艺的热式风速风向传感器及其制备方法

董自强

黄庆安

秦明

201010573973.6

中国

发明专利

2010

2012

27

一种具有热隔离结构的热式风速风向传感器及其制备方法

董自强

黄庆安

秦明

201010586986.7

中国

发明专利

2010

2012

28

一种高灵敏度二维风速向传感器

秦明

胡尔同

顾飞

201110031990.1

中国

发明专利

2011

2012

29

MEMS圆片级封装的划片方法

尚金堂

陈波寅

徐超

张迪

柳俊文

黄庆安

200910232887.6

中国

发明专利

2009

2012

30

发光二极管的玻璃-硅圆片级板上芯片封装方法

尚金堂

徐超

陈波寅

张迪            于慧

罗新虎

刘靖东

201010552613.8

中国

发明专利

2010

2012

31

基于金金键合工艺的热式风速风向传感器及其制备方法

董自强

黄庆安

秦明

201010586866.7

中国

发明专利

2010

2012

32

要求不同气氛压力的MEMS器件圆片级集成封装方法

尚金堂

张迪

徐超

陈波寅

201010148420.6

中国

发明专利

2010

2012

33

光催化微反应器的制备方法

尚金堂

陈波寅

徐超

张迪

201010148412.1

中国

发明专利

2010

2012

 

 

三. 队伍建设和人才培养

 2012毕业研究生一览表

学号

研究生姓名

学位

指导教师

059413

陈洁

博士

黄庆安

069120

王磊

博士

李伟华

079123

董自强

博士

秦明

079124

张巍巍

博士

黄庆安

099180

赵成龙

博士

尚金堂

109206

王德波

博士

黄庆安

070917

王雷

硕士

黄庆安

070986

张卫青

硕士

李伟华

091118

顾飞

硕士

秦明

091127

施立立

硕士

黄庆安

091136

于慧

硕士

尚金堂

091137

张晓艳

硕士

黄庆安

091138

胡尔同

硕士

秦明

091139

陈璐

硕士

黄庆安

091140

刘红

硕士

黄庆安

091141

罗新虎

硕士

尚金堂

091144

丁卯

硕士

黄庆安

091146

郭竞

硕士

沈克强

091152

刘靖东

硕士

尚金堂

091154

钱栋彪

硕士

唐洁影

091160

王珍

硕士

唐洁影

091161

徐宝馨

硕士

黄庆安

091166

袁风良

硕士

李伟华

091173

郝岚

硕士

沈克强

091174

王业

硕士

秦明

091177

刘彤

硕士

廖小平

091178

查琳

硕士

孙立涛

091182

陈婧婧

硕士

黄庆安

091185

张良

硕士

李伟华

091188

欧海波

硕士

沈克强

091190

曾洁琼

硕士

于虹

091196

董方洲

硕士

孙立涛

091197

乔志斌

硕士

唐洁影

091200

曹海涛

硕士

秦明

091201

刘合超

硕士

廖小平

091202

刘岩

硕士

黄庆安

091179

吴昊

硕士

黄庆安

091183

秦玉坤

硕士

黄庆安

091194

刘春胜

硕士

于虹

 

共计博士6名,硕士33名。

 

四.国内外学术交流和会议

2012年度主办1次国际学术会议;参加国外国际会议17人次;参加国内国际会议22人次;国外学者到实验室讲学7人。

五. 依托单位给予的支持

为支持实验室发展,学校在建设经费上给予重点支持。2012年“985工程”三期拨款250万元购设备。2012年学校投入实验室管理和运行经费40万元(其中用于开放课题12万元)。

六. 运行经费的使用情况

实验室运行经费主要来源于科研经费,严格按照国家项目管理规定执行。

 

 

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