2011年实验室年度报告
作者: 发布日期:2015-08-18

实验室(中心)

所属学科

工程科学

实验室(中心)

性质

基础研究

应用基础研究

应用

开发



 

 

教育部重点实验室

工作年报

 

 

实验室名称:   微电子机械系统(MEMS)教育部重点实验室  

学科(领域):微电子学与固体电子学(工程领域)

依托单位:    东南大学           

联系电话        02583792632-8840    

传    真:       02583792939     

网    址:    http://mems.seu.edu.cn

Email地址      jiangmx@seu.edu.cn     

 

201215日 填报


实验室名称:微电子机械系统教育部重点实验室

                    Key Laboratory of Micro-Electro-Mechanical-Systems of Ministry of Education of China

学科分类:(一级学科)电子科学与技术

          (二级学科)微电子学与固体电子学

挂靠单位:东南大学

二.  实验室工作纪要

简介2011年完成“863”项目2项计192万元,完成国家自然基金项目2项计68万元;在研项目22项计3966.74万元。2011年被SCI收录27篇;EI收录56篇。代表性的论文有《Journal of Microelectromechanical Systems》、《Applied Physics Letters》、《Journal of Applied Physics》、《Journal of Physical Chemistry C》、《Journal of Micromechanics and Microengineerjng》、《Physical Review B》等期刊。2011年批准23项发明专利,30项实用新型专利。新申请54项发明专利,16项实用新型专利。本年度引进教师1人,博士后留校2人,博士留校2人。毕业博士2名,硕士27名。2011年度没有主办国内外学术会议;参加国际会议16人次;国外学者到实验室讲学5人。2011年“985工程”三期拨款130万元购设备。2011年学校投入实验室管理和运行经费40万元(其中用于开放课题10万元)。2011在无锡成立了无锡杰德感知科技有限公司。

2.1  科研项目与经费

2010年完成项目4项计260万元;2011年在研项目22项计3966.74万元。

2011年完成项目一览表

序号

项目名称

来源与批准号

批准

部门

经费

万元

负责人

执行年

1

CMOS 电路与MEMS单片集成制造技术及应用研究

国家“八六三”计划项目

2009AA04Z322

科技部

118

  

2009-2011

2

用于MEMS圆片级、真空封装的球形玻璃微腔技术研究

国家“八六三”计划项目

2009AA04Z306

科技部

74

尚金堂

2009-2011

3

球型玻璃微腔用于MEMS园片级封装的基础研究

国家自然科学基金

50775038

基金委

32

尚金堂

2008-2011

4

超灵敏单分子传感器的设计理论与关键技术

国家自然科学基金(50875047)

基金委

36

陈云飞

2009-2011

 

 

 

在研课题及2011年在研课题一览表(不包含本年度结题项目)

序号

项目名称

来源与批准号

批准

部门

经费

万元

负责人

执行年

1

高密度三维系统及封装的关键技术研究

国家级重大专项

2009ZX02038

科技部

328

尚金堂

2009-2012

2

外场作用下单体低维材料物性与结构演变关系的表征测量

国家973项目(2009CB623702)

科技部

97.24

孙立涛

2009-2013

3

基于皮米分辨透射电镜的5纳米以下三维纳通道跨尺度集成制造及力学性能表征

国家973项目(2011CB707600)

科技部

192

孙立涛

2011-2015

4

CMOS MEMS PCM与CMOS MEMS

国家级重大专项

 

科技部

1500

黄庆安

周再发

2011-2013

5

水陆交通安全传感器及系统

863重大项目

2011AA040404

科技部

344.5

韩  磊

黄庆安

2011-2013

6

XXXX

预研项目

部委

200

廖小平

黄庆安

2011-2015

7

XXXX

预研项目

部委

200

王  磊

黄庆安

2011-2015

2

XXXX

国防973三级课题

(XXXXX)

部委

110

孙晓峰

2009-2012

8

XXXX

国防973三级课题

(XXXXX)

部委

100

  

2009-2012

9

XXXX

国防973三级课题

(XXXXX)

部委

100

唐洁影

2009-2012

10

XXXX

国防973三级课题

(XXXXX)

部委

50

廖小平

2009-2012

11

微纳传感与控制

国家自然科学基

(50925519)

基金委

200

陈云飞

2010-2013

12

基于MEMS功率传感技术的单片微波相位集成检测系统的设计理论与实现方法的研究

国家自然科学基金

60976094

基金委

36

廖小平

2010-2012

13

CMOS兼容的电容式气压传感器的设计与工艺研究

国家自然科学基金

60901009)

基金委

22

  

2010-2012

14

既有混凝土结构现存应力测量的环芯法研究与测量装置研制

国家自然科学基金

面上项目

10972054

基金委

50

何小元

2010-2012

15

基于光斑位置敏感的风速传感器集成系统研究

国家自然基金

(面上项目)

61076071

基金委

39

秦明

2011-2013

16

基于MEMS功率传感器的无线接收式微波频率检测集成系统的设计理论和实现方法的研究

国家自然基金

(面上项目)

61076108

基金委

39

廖小平

2011-2013

17

用修正的K. P微扰理论研究弯曲形变硅纳米梁的力电耦合性质

国家自然基金

(青年科学基金项目)

61001044

基金委

24

雷双瑛

2011-2013

18

GPa高压下单晶金属纳米材料的原位动态表征与塑性变形机理研究

国家自然基金

(面上项目)

(51071044)

基金委

40

孙立涛

2011-2013

19

金属-碳纳米管接触的原位构建及其界面微结构与电学性质研究

国家自然基金

(青年科学基金项目)

(61006011)

基金委

24

万能

2011-2013

20

传感器系列产品开发

横向项目


198

黄庆安

2008-2012

21

路面传感器产品与开发

横向项目


48

殷刚毅

2009-2012

22

MEMS外力驱动开头

江阴长电


25

韩  磊

黄庆安

2011-2012

 

2.2 发表的论著

2011年发表论文被SCI收录27篇;EI收录56篇。(详见论文集)

2.3 获批专利

2011年批准23项发明专利,30项实用新型专利。新申请54项发明专利,16项实用新型专利。

序号

名称

发明人

专利号

类别

申请

时间

授权

时间

1

一种应力传感测试结构

魏松胜 宋  竞唐洁影

200910035272.4

中国

发明专利

2009

2011

2

抑制衬底涡流效应的微电子机械电感及其制备方法

廖小平 武  锐

200710022360.1

中国

发明专利

2007

2011

3

硅(100)衬底各向异性腐蚀中直角结构补偿图形生成

李伟华 张  涵

200910030067.9

中国

发明专利

2009

2011

4

基于微悬臂梁结构的介电伸缩系数测量方法

黄庆安 黄见秋 秦  明

200910033237.9

中国

发明专利

2009

2011

5

微电子机械微波频率响应补偿式微波功率检测装置

廖小平 王德波

200910232144.9

中国

发明专利

2009

2011

6

基于微电子机械悬臂梁通过式微波功率检测器及制备方法

廖小平 许映林

200810020839.6

中国

发明专利

2008

2011

7

微系统散热装置的制备方法

尚金堂 张  迪 陈波寅 徐  超黄庆安

200910263296.5

中国

发明专利

2009

2011

8

用微模具成型圆片级玻璃器件的方法

黄庆安 柳俊文 尚金堂 唐洁影

200910028463.8

中国

发明专利

2009

2011

9

具有光学窗口的MEMS封装玻璃微腔的制造方法

尚金堂徐  超 张  迪陈波寅 柳俊文 唐洁 黄庆安

200910185356.6

中国

发明专利

2009

2011

10

MEMS圆片级真空封装方法

尚金堂 陈波寅 张  迪 徐  超 柳俊文 唐洁影 黄庆安

200910232848.0

中国

发明专利

2009

2011

11

一种微悬臂梁接触分布的测量结构及其方法

唐洁影 袁  洁

201010153387.6

中国

发明专利

2010

2011

12

一种与CMOS工艺兼容的气压传感器及其制备工艺

聂  萌 黄庆安    秦  明

200910181673.0

中国

发明专利

2009

2011

13

微电子机械微波损耗补偿式微波功率检测装置

廖小平 王德波

200910035498.4

中国

发明专利

2009

2011

14

基于陶瓷圆片级封装的集成风速风向传感器及其制备方法

黄庆安 董自强  秦  明

 201010103608.9

中国

发明专利

2010

2011

15

基于圆片级玻璃微腔的低温玻璃焊料键合封装方法

黄庆安 柳俊文 尚金堂 唐洁影

200910028462.3

中国

发明专利

2009

2011

16

一种微悬臂梁接触长度的测量结构及其方法

唐洁影 袁  洁

201010153380.4

中国

发明专利

2010

2011

17

低污染高成品率圆片级均匀尺寸玻璃微腔的制备方法

尚金堂 陈波寅    徐  超 张  迪    

201010148406.6

中国

发明专利

2010

2011

18

正压热成型制备圆片级均匀尺寸玻璃微腔的方法 

尚金堂 陈波寅    徐  超 张  迪    

201010148431.4

中国

发明专利

2010

2011

19

利用球形玻璃微腔进行气密性封装的方法

尚金堂 张  迪    陈波寅 徐  超     

201010148436.7

中国

发明专利

2010

2011

20

微电子机械天关自激励机理的测试结构及其制备方法

廖小平 肖建斌

201010121131.7

中国

发明专利

2010

2011

21

圆形硅薄膜微机电压力传感受器

李伟华

201010501581.9

中国

发明专利

2010

2011

22

厚胶介质补偿紫外光斜垂直光刻工艺三维光强分布模拟方法

周再发 黄庆安

李伟华

201010236322.8

中国

发明专利

2010

2011

23

反向共线瞬态热反射测量系统

陈云飞 郑月明 毕可东 李  剑

201010173192.8

中国

发明专利

2010

2011

 

 

三. 队伍建设和人才培养

本年度博士后留校2人,博士留校2人,引进南大博士1人

 

2011毕业研究生一览表

学号

研究生姓名

学位

指导教师

069119 

黄见秋

博士

黄庆安

069121 

柳俊文

博士

黄庆安

080910 

顾  慧 

硕士

秦  明

080912 

顾兴莲

硕士

秦  明

080913 

季  晶

硕士

秦  明

080919 

徐  超

硕士

尚金堂 

080920 

袁  洁 

硕士

唐洁影 

080926 

童  魁 

硕士

黄庆安

080929 

孙世虎

硕士

黄庆安

080931 

康兴华

硕士

秦  明 

080932 

张广庆

硕士

黄庆安 

080933 

张建波

硕士

沈克强 

080935 

蔡婧婧

硕士

李伟华 

080936 

陈波寅

硕士

尚金堂 

080938 

戴建扬

硕士

李伟华

080940 

符  鹏 

硕士

于  虹 

080941 

葛宇昊

硕士

李伟华 

080949 

钱  浩 

硕士

唐洁影 

080950 

邱峥嵘

硕士

于  虹 

080951 

申  杰 

硕士

唐洁影 

080954 

夏正伟

硕士

李伟华 

080957 

徐  俊 

硕士

沈克强 

080958 

徐  徐 

硕士

沈克强 

080959 

许俊敏

硕士

孙立涛 

080963 

张  迪 

硕士

尚金堂

080966 

周  易 

硕士

廖小平

080971 

陆  伟 

硕士

黄庆安

080975 

李甲子

硕士

于  虹

080983 

罗  静 

硕士

孙立涛  

共计博士2名,硕士27名。

 

四.国内外学术交流和会议

2011年度没有主办国内外学术会议;参加国外国际会议30人次;参加国内国际会议7人次;国外学者到实验室讲学3人。

五. 依托单位给予的支持

为支持实验室发展,学校在建设经费上给予重点支持。2011年“985工程”三期拨款130万元购设备。2010年学校投入实验室管理和运行经费40万元(其中用于开放课题10万元)。

六. 运行经费的使用情况

实验室运行经费主要来源于科研经费,严格按照国家项目管理规定执行。

 


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