2010年实验室年度报告
作者: 发布日期:2015-08-17

实验室(中心)

所属学科

信息科学

实验室(中心)

性质

基础研究

应用基础研究

应用

开发



 

 

教育部重点实验室

工作年报

 

 

 

实验室名称:   微电子机械系统(MEMS)教育部重点实验室  

学科(领域):微电子学与固体电子学(信息领域)

依托单位:    东南大学           

联系电话         02583792632-8840    

传    真:         02583792939     

网    址:    http://mems.seu.edu.cn

Email地址      jiangmx@seu.edu.cn     

 

2011330日 填报


实验室名称:微电子机械系统教育部重点实验室

                    Key Laboratory of Micro-Electro-Mechanical-Systems of Ministry of Education of China

学科分类:(一级学科)电子科学与技术

          (二级学科)微电子学与固体电子学

挂靠单位:东南大学

二.  实验室工作纪要

简介2010年完成“863”项目6项计500万元,完成“973”项目1项计358.18万元,完成国家自然基金项目2项计65万元,完成总装项目2项计290万元;在研项目15项计1502万元。2010年在国内外期刊发表论文65篇;其中SCI收录15篇;EI收录52篇。代表性的论文有《Journal of Microelectromechanical Systems》、《Applied Physics Letters》、《Journal of Applied Physics》、《Journal of Physical Chemistry C》、《Journal of Micromechanics and Microengineerjng》、《Physical Review B》等期刊。2010年批准11项发明专利,3项实用新型专利。新申请45项发明专利,15项实用新型专利。本年度引进教师1人。毕业博士5名,硕士27名。2010年度没有主办国内外学术会议;参加国际会议37人次;国外学者到实验室讲学6人。2010年江苏省重点学科拨款30万元。2010年学校投入实验室管理和运行经费40万元(其中用于开放课题20万元)。

2.1  科研项目与经费

2010年完成项目11项计1213.18万元;在研项目15项计1502万元。

2010年完成项目一览表

序号

项目名称

来源与批准号

批准

部门

经费

万元

负责人

执行年

1

跨微纳尺度的传感器理论模型与仿真

国家“九七三”计划项目

(2006CB300404)

科技部

358.18

黄庆安

于  虹

2006-2010

2

面向安全的传感器产业化研究

国家“八六三”计划项目

(2007AA04Z342)

科技部

40

秦  明

2006-2010

3

MEMS加工工艺仿真系统

国家“八六三”计划项目

(2007AA04Z301)

科技部

135

黄庆安

2007-2010

4

硅微纳梁力电耦合多尺度模型与模拟

国家“八六三”计划项目

(2007AA04Z306)

科技部

79

于  虹

2007-2010

5

基于CMOS后处理的MEMS集成制造技术研究

国家“八六三”计划项目

(2006AA040104)

科技部

80

秦  明

2007-2010

6

MEMS结构可靠性评估方法及测试的研究

国家“八六三”计划项目

(2007AA04Z320)

科技部

84

唐洁影

2007-2010

7

在线式MEMS微波功率传感器及其集成检测系统研究

国家“八六三”计划项目

(2007AA04Z328)

科技部

82

廖小平

2007-2010

8

XXXX

国防“十一五”预研项目

(5130805XXX)

部委

160

唐洁影

2006-2010

9

XXXX

国防“十一五”预研项目

(5130805XXX)

部委

130

廖小平

2006-2010

10

石墨烯的掺杂与热稳定性研究

国家自然科学基金

60976003

基金委

10

孙立涛

2010-2010

11

基于频闪照明及数字图像相关技术的三维微结构动态测试分析方法与系统研制

国家自然科学基金

(10727201)

基金委

55

何小元

2008-2010

 

在研课题及2010年新立项课题一览表(不包含本年度结题项目)

序号

项目名称

来源与批准号

批准

部门

经费

万元

负责人

执行年

1

CMOS 电路与MEMS单片集成制造技术及应用研究

国家“八六三”计划项目

2008AA404140

科技部

118

  

2009-2011

2

用于MEMS圆片级、真空封装的球形玻璃微腔技术研究

国家“八六三”计划项目

2008AA404536

科技部

74

尚金堂

2009-2011

3

高密度三维系统及封装的关键技术研究

国家级重大专项

2009ZX02038

科技部

328

尚金堂

2009-2012

4

XXXX

国防973三级课题

(XXXXX)

部委

110

孙晓峰

2009-2012

5

XXXX

国防973三级课题

(XXXXX)

部委

100

  

2009-2012

6

XXXX

国防973三级课题

(XXXXX)

部委

100

唐洁影

2009-2012

7

XXXX

国防973三级课题

(XXXXX)

部委

50

廖小平

2009-2012

8

微纳传感与控制

国家自然科学基

(50925519)

基金委

200

陈云飞

2010-2013

9

球型玻璃微腔用于MEMS园片级封装的基础研究

国家自然科学基金

50775038

基金委

32

尚金堂

2008-2010

10

基于MEMS功率传感技术的单片微波相位集成检测系统的设计理论与实现方法的研究

国家自然科学基金

60976094

基金委

36

廖小平

2010-2012

11

CMOS兼容的电容式气压传感器的设计与工艺研究

国家自然科学基金

60901009)

基金委

22

  

2010-2012

12

超灵敏单分子传感器的设计理论与关键技术

国家自然科学基金(50875047)

基金委

36

陈云飞

2009-2011

13

既有混凝土结构现存应力测量的环芯法研究与测量装置研制

国家自然科学基金

面上项目

10972054

基金委

50

何小元

2010-2012

14

传感器系列产品开发

横向项目


198

黄庆安

2008-2012

15

路面传感器产品与开发

横向项目


48

殷刚毅

2009-2012

 

2.2 发表的论文

2010年在国内外期刊发表论文65篇;其中SCI收录15篇;EI收录52篇。(详见论文集)

 

2.3 获批专利

2010年批准11项发明专利,3项实用新型专利。新申请45项发明专利,15项实用新型专利。

序号

名称

发明人

专利号

类别

申请

时间

授权

时间

1

微机械二维风风向传感器及其信号处理电路

秦  明沈广平黄庆安

10124428.1

中国发明专利

2008

2010

2

微电子机械可调带通滤波器及制备方法

廖小平李  锐

10133892.2

中国发明专利

2007

2010

3

微机电器件加工中金属层与绝缘层对准误差电学测试结构

李伟华钱晓霞

10133886.7

中国发明专利

2007

2010

4

压阻式微波功率传感器及其微波功率传感方法

黄庆安韩  磊廖小平 

10085330.0

中国发明专利

2006

2010

5

微波功率检测装置

廖小平王德波

20235877.3

中国发明专利

2009

2010

6

微机电系统梁振动疲劳可靠性在线自动测试方法及系统

唐洁影陈龙龙尚金堂

10122624.5

中国发明专利

2008

2010

7

单片集成微电子机械系统制备方法

秦  明沈广平黄庆安

10022267.0

中国发明专利

2007

2010

8

电容式微波功率传感器

黄庆安韩  磊廖小平

10085329.8

中国发明专利

2006

2010

9

一种微机电系统磁场传感器及测量方法

陈  洁黄庆安 秦  明赵桂林

10022319.9

中国发明专利

2008

2010

10

硅(110)衬底各向异性腐蚀中直角结构补偿图形生成方法

李伟华张  涵

1002826.X

中国发明专利

2009

2010

11

多层梁结构的电容式微机械温度传感器

黄庆安

陆婷婷

秦  明

10024494.7

中国发明专利

2007

2010

12

高灵敏度雨量传感器

顾兴莲秦  明 余辉洋

20036143.2

实用新型专利

2009

2010

13

微波功率检测装置

廖小平王德波

20235877.3

实用新型专利

2009

2010

14

电容式相对湿度传感器

赵成龙黄庆安秦 明

20233711.8

实用新型专利

2009

2010

15

圆片级玻璃微流道的正压热成型制造方法

尚金堂陈波寅 张  迪徐  超 柳俊文唐洁影黄庆安

10100938.2

中国发明专利

2010


16

基于陶瓷圆片级封装的集成风速风向传感器及其制备方法

董自强黄庆安秦  明

10103608.9

中国发明专利

2010


17

无线接收式微电子机械微波频率检测系统及其制备方法

瘳小平王德波易真翔

10103655.3

中国发明专利

2010


18

厚胶介质补偿紫外光斜入射光刻工艺的光强分布模拟方法

周再发黄庆安朱  真李伟华

10106316.0

中国发明专利

2010


19

厚胶紫外光斜入射背面光刻工艺的光强分布模拟方法

周再发黄庆安李伟华

10120161.6

中国发明专利

2010


20

微电子机械天关自激励机理的测试结构及其制备方法

廖小平肖建斌

10121131.7

中国发明专利

2010


21

一种微悬臂梁接触长度的测量结构及其方法

唐洁影袁  洁

10153380.4

中国发明专利

2010


22

一种微悬臂梁接触分布的测量结构及其方法

唐洁影袁  洁

10153387.6

中国发明专利

2010


23

一种石墨烯负载四氧化三钴纳米复合材料及其制备方法

尹奎波孙立涛毕恒昌孙  俊 万  能

10158087.7

中国发明专利

2010


24

二元光学玻璃透镜的制造及封装MEMS红外探测器的方法

尚金堂徐  超 张  迪陈波寅 柳俊文唐洁影黄庆安

10200240.8

中国发明专利

2010


25

发光二极管的玻璃球腔封装方法

尚金堂徐  超 张  迪陈波寅

10200253.5

中国发明专利

2010


26

发光二极管的高性能玻璃封装方法

尚金堂徐  超 张  迪陈波寅

10200254.X

中国发明专利

2010


27

微电子机械开关电介质注入的测试结构及其制备方法

廖小平周  易

10200408.5

中国发明专利

2010


28

微机械气压传感器芯片的封装结构及其制备方法

聂  萌黄庆安 秦  明

10204229.9

中国发明专利

2010


29

具有红外线聚焦功能的MEMS红外传感器的封装方法

黄庆安尚金堂柳俊文唐洁影徐  超张  迪 陈波寅

10204606.9

中国发明专利

2010


30

超声波风速风向测量装置

秦  明匡  蕾

10221120.6

中国发明专利

2010


31

基于光点位置敏感的风速风向测试装置

秦  明季  晶

10221109.X

中国发明专利

2010


32

一种射频微机电系统器件封装热应变的测量方法

赵  成黄庆安 宋  竟

10222856.5

中国发明专利

2010


33

MEMS固支梁式在线微波功率传感器及其制备方法

廖小平张志强

10223810.5

中国发明专利

2010


34

MEMS悬臂梁式在线微波功率传感器及其制备方法

廖小平张志强

10223806.9

中国发明专利

2010


35

厚胶介质补偿紫外光斜垂直光刻工艺三维光强分布模拟方法

周再发黄庆安

李伟华

10236322.8

中国发明专利

2010


36

微电子机械定向耦合式微波功率传感器及其制备方法

廖小平张志强

10240182.1

中国发明专利

2010


37

微电子机械固支梁式定向微波功率耦合器及其制备方法

廖小平张志强

10240185.5

中国发明专利

2010


38

圆形硅薄膜微机电压力传感受器

李伟华

10501581.9

中国发明专利

2010


39

圆形硅膜二维风速风向传感器

李伟华

10501597.X

中国发明专利

2010


40

圆形铂金薄膜二维风速风向传感器

李伟华

10501568.3

中国发明专利

2010


41

矩形硅膜二维风速风向传感器

李伟华

10501541.4

中国发明专利

2010


42

矩形硅薄膜微机电压力传感器

李伟华

10501549.0

中国发明专利

2010


43

矩形铂金薄膜二维风速风向

李伟华

10501561.1

中国发明专利

2010


44

发光二极管的玻璃-硅圆片级板上芯片封装方法

尚金堂徐  超 陈波寅张  迪 于  慧罗新虎 刘靖东

10552613.8

中国发明专利

2010


45

发光二极管倒装芯片的圆片级玻璃球腔封装方法

尚金堂徐  超 陈波寅张  迪 于  慧罗新虎 刘靖东

10552457.5

中国发明专利

2010


46

发光二极管的圆片级玻璃微腔封装方法

尚金堂徐  超 陈波寅张  迪 于  慧罗新虎 刘靖东

10552449.0

中国

发明专利

2010


47

基于阳极键合工艺的热式风速风向传感器及其制备方法

董自强黄庆安秦  明

10573973.6

中国发明专利

2010


48

一种具有热隔离结构的热式风速风向传感器及其制备方法

董自强黄庆安秦  明

10586986.7

中国发明专利

2010


49

基于金金键合工艺的热式风速风向传感器及其制备方法

董自强黄庆安秦  明

10586866.7

中国发明专利

2010


50

一种常开态声发射型射频微机械开关

黄庆安王立峰唐洁影韩  磊 张晓兵

10591240.5

中国发明专利

2010


51

常关态声发射型射频微机械开关

黄庆安王立峰唐洁影韩  磊 张晓兵

10591238.8

中国发明专利

2010


52

厚光刻胶背面斜入射光刻工艺的三维光强分布模拟方法

周再发黄庆安

李伟华

10595103.9

中国发明专利

2010


53

一种进行圆片级电互边与引出的装置及其加工方法

王  珍王  磊 唐洁影黄庆安

10603002.1

中国发明专利

2010


54

一种石墨烯/氧化石墨烯复合膜及其制备方法

尹奎波毕恒昌孙立涛孙  俊 徐  峰万  能

10607319.2

中国发明专利

2010


55

一种石墨烯薄膜的制备方法

孙立涛毕恒昌 尹奎波万  能 徐  峰

10607317.3

中国发明专利

2010


56

一种场发射用注射器状ZNO纳米结构阵列的制备方法

徐  峰孙立涛 董方洲毕恒昌 尹奎波万  能

10607320.5

中国发明专利

2010


57

用于微电子系统级封装的高密度转接板的制备方法

尚金堂于  慧 罗新虎蒋明霞 刘靖东

10617889.X

中国发明专利

2010


58

跨微纳尺度集成流道的制备方法

尚金堂于  慧 罗新虎刘靖东 蒋明霞

10620619.4

中国发明专利

2010


59

消除微电子机械系统悬空结构粘附现象的方法

陈志远宋  竞 唐洁影

10575850.6

中国发明专利

2010


60

微机械气压传感器芯片的封装结构

聂  萌黄庆安 秦  明

20230686.0

实用新型专利

2010


61

基于光点位置敏感的风速风向测试装置

秦  明季  晶

20252261.X

实用新型专利

2010


62

超声波风速风向测量装置

秦  明匡  蕾

20252271.3

实用新型专利

2010


63

基于热损失工作方式的矩形硅薄膜微机电压力传感器

李伟华

20554710.6

实用新型专利

2010


64

基于热损失工作方式的矩形硅膜二维几速风向传感器

李伟华

20554721.4

实用新型专利

2010


65

基于热损失工作方式的筹划形铂金薄膜二维风速风向传感器

李伟华

20554728.6

实用新型专利

2010


66

基于热损失工作方式的圆形铂金薄膜二维风速风向传感器

李伟华

20554744.5

实用新型专利

2010


67

基于热损失工作方式的圆形硅薄膜微机电压力传感器

李伟华

20554752.X

实用新型专利

2010


68

基于热损失工作方式的圆形硅膜二维风速风向传感器

李伟华

20554765.7

实用新型专利

2010


69

基于金金键合工艺的热式风速风向传感器

董自强黄庆安秦  明

20658349.1

实用新型专利

2010


70

一种具有热隔离结构的热式风速风向传感器

董自强黄庆安秦  明

20658402.8

实用新型专利

2010


71

常关态声发射型射频微机械开关

黄庆安王立峰唐洁影韩  磊 张晓兵

20663382.3

实用新型专利

2010


72

一种常开态场发射型微频微机械开关

黄庆安王立峰唐洁影韩  磊 张晓兵

20663580.X

实用新型专利

2010


73

一种石墨烯/氧化石墨烯复合膜

 

尹奎波毕恒昌 孙立涛孙  俊 徐  峰

万  能

20682164.4

实用新型专利

2010


74

消除微电子机械系统悬空结构粘附现象的方法

陈志远宋  竞 唐洁影

20644647.5

实用新型专利

2010


 

三. 队伍建设和人才培养

本年度引进教师1人:韩  磊,男,1979年生,博士,讲师,东南大学毕业

 

2010毕业研究生一览表

学号

研究生姓名

学位

指导教师

039116

徐大林

博士

黄庆安

049431 

李敏 

博士

黄庆安

069122 

马洪宇 

博士

黄庆安

039107

蒋明

博士

何小元

059399

刘雯雯

博士

何小元

070914 

王德波

硕士

廖小平

070965 

魏松胜

硕士

唐洁影

070913 

白丽娟

硕士

秦  明

070915 

于文才

硕士

廖小平

070920 

蔡载明

硕士

李伟华 

070921 

陈恺 

硕士

黄庆安 

070922 

陈明园

硕士

秦  明 

070924 

封锴 

硕士

黄庆安

070927 

何琦 

硕士

秦  明

070929 

居易 

硕士

唐洁影

070933 

卢礼兵

硕士

于  虹 

070934 

米慧广

硕士

李伟华 

070946 

袁为民

硕士

于  虹 

070947 

周海慧

硕士

李伟华 

070949 

卢超 

硕士

唐洁影

070951 

张燕波

硕士

秦  明 

070952 

陈凌威

硕士

唐洁影 

070955 

杨磊 

硕士

于  虹 

070959 

岳东旭

硕士

于  虹 

070969 

肖建斌

硕士

廖小平

070976 

陈慈沼

硕士

黄庆安

070981 

沈洁 

硕士

李伟华 

070984 

张涵 

硕士

李伟华

073012 

李俊伍

硕士

秦  明 

060923 

王振中 

硕士

黄庆安

070651

章雯

硕士

何小元

070652

付广龙

硕士

何小元

共计博士5名,硕士27名。

 

四.国内外学术交流和会议

2010年度没有主办国内外学术会议;参加国外国际会议30人次;参加国内国际会议7人次;国外学者到实验室讲学6人。

五. 依托单位给予的支持

为支持实验室发展,学校在建设经费上给予重点支持。2010年江苏省重点学科拨款30万元。2010年学校投入实验室管理和运行经费40万元(其中用于开放课题20万元)。

六. 运行经费的使用情况

实验室运行经费主要来源于科研经费,严格按照国家项目管理规定执行。

 


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