总体介绍

        以国家需求为导向,面向国际前沿,实验室科研团队由CMOS MEMS(传感器)MEMS CADRF MEMSMEMS封装与可靠性,以及NEMS四个科研小组构成,覆盖了纵向的材料、结构、器件和系统四个技术层次,和横向的设计、加工、封装、测试四个共性技术。合理的分工合作机制使实验室在微纳系统各关键科学和工程领域上均取得有价值的成果,促进了团队的平衡发展和不断进步。

        以推进MEMS行业发展为己任,实验室在紧张活泼的科研工作之外,也一直积极致力于MEMS技术的交流、教育和宣传工作。我们相信,大学不仅是学习知识和教授技能的讲堂,也是孕育新世界价值观和方法论的摇篮。开放的交流和审慎的思考使实验室始终能保持“多元、协作、卓越”的发展特色而稳步前进。

       实验室同国内外同行业先进企业、科研院所和高校一直保持密切合作。一方面共同承担973863、重大专项等国家级项目的关键任务,另一方面为新兴MEMS企业提供特种技术的研究和咨询服务。实验室成功举办了第六届APCOT国际MEMS年会、第八届中国微米纳米年会。每年均派师生参加微纳领域各大顶级会议并发布研究成果。每年邀请数十位包括诺贝尔奖获得者在内的国内外行业知名专家来室讲学指导。出版了国内首部MEMS专著《硅微机械加工技术》,译著系列国外MEMS教材与工具书十余部,成为行业学习经典。

        热情的工作和出色的成绩,使实验室发展成为享誉中外的MEMS研究机构。我们的进步不仅源于自身的努力,也得益于国内MEMS行业欣欣向荣的发展形势,能人辈出的新生气象和好学弥笃的文化氛围。实验室热情欢迎各位有志于开拓微纳新世界的学人加入我们的行列,一同学习、探索和发明新时代的技术和理念。愿我们的智慧和力量凝聚起来,见微知著,谋远图新,为MEMS科技的辉煌未来而共同奋斗!

 

 

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